悉识科技 反射透射测量双通道膜厚仪NS-Vista 参数

悉识科技推出的反射透射测量双通道膜厚仪NS-Vista，是针对薄膜厚度高精度表征的专业仪器，通过反射+透射双通道同步测量突破单一模式局限，覆盖纳米级至微米级宽量程薄膜，适配实验室研发、科研表征、工业检测等多场景需求。

一、核心技术特点

• 双通道同步测量：反射与透射通道共享样品定位系统，无需移动样品即可完成双模式数据采集，避免位移误差，测量重复性≤0.1%F.S.；
• 宽量程整合：反射模式覆盖1nm~500μm，透射模式覆盖5nm~1000μm，可测半导体超薄膜（如SiO₂）至光伏厚膜（如玻璃镀膜）；
• 分段高精度：针对不同量程优化算法，1nm~100nm量程精度达±0.1nm，100nm以上量程精度≤±0.5%读数，满足科研级表征；
• 非接触无损：采用光学干涉原理（反射为激光/白光干涉，透射为光谱干涉），无样品接触损伤，适配柔性薄膜、易碎样品；
• 智能校准与溯源：内置自动校准程序（可溯源至国家计量标准），支持CSV数据导出，适配实验室LIMS系统对接。

二、关键参数列表

1. 反射通道参数

• 测量范围：1nm ~ 500μm
• 精度：±0.1nm（1nm~100nm）；±0.5%读数（100nm~500μm）
• 重复性：≤0.1%F.S.
• 光源：可选633nm He-Ne激光 / 405nm LED（白光干涉）
• 光斑直径：最小20μm（激光模式）

2. 透射通道参数

• 测量范围：5nm ~ 1000μm
• 精度：±0.2nm（5nm~200nm）；±0.8%读数（200nm~1000μm）
• 重复性：≤0.2%F.S.
• 样品透过率要求：≥5%（厚膜）

3. 通用参数

• 样品尺寸：最大200mm×200mm（可定制300mm晶圆适配）
• 测量时间：<1s/单点
• 工作环境：10℃~35℃（湿度≤80%RH，无凝露）
• 电源：AC 220V±10%，50Hz/60Hz
• 尺寸：450mm（宽）×350mm（深）×500mm（高）
• 重量：约30kg

三、典型应用场景

• 实验室研发：半导体（SiO₂、SiNx、金属薄膜）、光学（AR增透膜、反射镜）、纳米材料（量子点、二维材料）厚度表征；
• 科研机构：高校/研究所纳米薄膜结构-性能关联研究，满足ISO 2360、JIS K 5600等国际标准；
• 工业检测：光伏（PERC电池钝化层）、显示面板（OLED柔性膜、TFT镀膜）、包装（阻隔膜）厚度在线/离线检测；
• 第三方检测：薄膜产品合规性检测，数据可溯源，支持CMA/CNAS报告出具。

NS-Vista通过双通道整合与高精度算法，填补了单一膜厚仪的量程与模式局限，为薄膜领域从业者提供一站式测量解决方案，适配多行业需求，是实验室与工业检测的可靠工具。