扫描电镜,英文全称为scanning electron microscope,简称SEM,是一种介于透射电子显微镜(TEM)和光学显微镜(OM)之间用于高分辨率微区形貌分析的大型精密仪器。具有景深大、分辨率高, 成像直观、立体感强、放大倍数范围宽以及待测样品可在三维空间内进行旋转和倾斜等特点。扫描电镜图像表面形貌衬度几乎可以用于显示任何样品表面的超微信息,其应用已经渗透到许多科学研究领域,在失效分析、刑事案件侦破、病理诊断等技术部门也得到广泛应用。在材料科学研究领域,表面形貌衬度在断口分析等方面显示有突出的优越性。扫描电镜是如何进行工作的?它的工作原理是什么?
扫描电镜工作原理
扫描电镜通过利用细聚焦电子束在样品表面逐点扫描,与样品相互作用产生各种物理信号,这些信号经检测器接收、放大并转换成调制信号,Z终在荧光屏上显示反映样品表面各种特征的图像。
聚束科技(北京)有限公司专注于科研及工业等领域应用的高通量、全自动化电子显微镜解决方案,具备独立设计和生产高端场发射(Schottky Field Emission)电子显微镜系统能力并拥有全部核心的自主知识产权,可以根据用户及行业需求定制化设计、生产专业用途电镜系统,结合高速图像大数据采集能力和AI大数据分析能力,从而提高纳米成像检测效率。

与传统SEM不同的是,聚束科技生产的Navigator100针对大面积SEM分析的特定应用而全新设计的高通量电子光学成像系统,ZD优化低落点能量下BSE的成像速率,同时保证SE的接收效率为95%以上,使SE和BSE的成像速率达到传统SEM的10倍左右,搭配聚焦跟踪系统和光学导航等辅助模块,综合成像速率是传 统SEM的30倍以上。
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高通量(场发射)扫描电镜Navigator-100
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