如何利用旋转台进行自动晶圆定位？

半导体行业中硅和其他晶圆的接触角测量用于评估清洁度、表面处理均匀性和光刻胶粘附性。晶圆的直径通常在4英寸至12英寸之间。理想情况下，晶圆上的接触角测量可以通过自动定位整个晶圆来完成，而无需用户干预。对于小晶圆，可以通过自动XYZ样品台和滴液器来实现，但当晶圆直径为12英寸时，需要额外的旋转轴来实现全自动定位。在这篇文章中，详细解释了旋转台的使用。

Theta Flow Wafer晶圆接触角测量仪

Theta Flow Wafer晶圆接触角测量仪是一款专为测量晶圆接触角而设计的特殊仪器。它由Theta Flow光学接触角测量仪主机、可配置四个可抛弃滴液头的自动滴液器和带自动旋转的全自动XYZ样品台组成。仪器中的四个滴液器允许使用几种不同的测量液体进行表面自由能测量，或者如果所有四个滴液器都用水，则可以有更长的连续运行时间。自动XYZ样品台与旋转样品台一起使晶圆自动移动，以定位整个表面。

晶圆的定位

晶圆样品台包括电动旋转台以及单独的晶圆台面。晶圆台面包括可移动的插销，可以根据所用晶圆的尺寸进行定位。插销将引导和确保晶圆的可重复定位。此外，旋转台已经配备真空连接口，如果需要，可以增加额外的固定。

自动晶圆定位—设置测量

要自动测量晶圆上不同位置的接触角，需要一些初始设置。一旦设置好参数，就可以根据需要对更多的晶圆进行相同的测量。此外，可以保存测试方法，这允许在不同批次晶圆之间使用相同的测量参数，确保测量的可重复性。

自动晶圆定位—测量

设置好方法后，单击开始按钮即可开始测量。软件将把样品移动到第一个测量位置，滴出所需大小的液滴，将其放置在晶圆上，并测量接触角。取接触角的时间点在方法中设置。接触角在拍摄点的晶圆图像上实时显示。然后，软件将自动移动样品台到晶圆中的下一个位置。

Biolin Theta系列 晶圆接触角测量仪

高端晶圆全自动接触角测量仪器

支持晶圆接触角测量的软件功能

? 批量模式，用于对一排多个晶圆进行快速测量。

? 标准座滴法，可进行更深入的分析。

（晶圆自动旋转台）

应用

? 研究表面清洁度

接触角测量可以评估晶圆的清洁度，从而来评估表面污染物和残留物的去除情况。

? 确定表面自由能

通过测量接触角，可以推断出表面自由能，这对于理解其他材料如何与晶圆相互作用至关重要。

? 了解粘附性能

接触角有助于确定应用于晶圆的涂层和薄膜的粘附性能。

? 研究亲水性/疏水性

测量接触角可以确定晶圆表面是亲水还是疏水，从而影响光刻和蚀刻等工艺。

? 用于质量控制

定期的接触角测量可以作为质量控制过程的一部分，以确保晶圆加工和处理的一致性。

瑞典百欧林科技有限公司

是一家专注于界面分析、薄膜制备与表征和分子间相互作用领域的先进科研仪器生产商，是该研究领域的开创者和领导者。应用领域涵盖表界面、材料科学、生物科学、药物开发与诊断等众多研究领域。

大昌华嘉科学仪器作为百欧林中国区Attension系列产品总代理，我们为接触角及表面张力的用户提供完善的售前、售后服务及全面的技术和应用支持。