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本规范适用于测量范围为(0-20)μm、分辨力为 0.1μm和 0.01 μm的电解式(库伦)测厚仪校准,不适用于多层镍厚度和线材镀层厚度测量的电解式(库伦)测厚仪校准。
主要阐述多层镍的分析要求
ALD发展/理论/应用/ALD优势
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