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华兆科技(广州)有限公司
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北方华创 Booster SWA单片退火系统价格:面议- 品牌:北方华创
- 产地:北京 大兴区
Booster SWA单片退火系统主要用于12英寸后段金属互联退火工艺。该机台为多腔集群设备,能够进行全自动并行工艺处理。系统主要由传输模块和3个工艺模块组成,其中工艺模块主要用于Post Etch和...
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THEORIS A302 12英寸立式低温退火炉在中低温条件下,通入N₂、H₂或D₂等气体,以消除硅片界面处金属及非金属晶格缺陷和晶格损伤,优化硅片界面质量,提升器件良率。该系统具备高精度的温度控制系...
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Hesper TO230R 单片减压原位湿法氧化系统适用于集成电路、功率半导体、衬底材料、科研等领域,单腔或多腔多种设计,可满足不同客户需求,低拥有成本和低运营成本。





























