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华兆科技(广州)有限公司
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- 品牌:北方华创
- 产地:北京 大兴区
Esther E320R 8英寸单片减压硅外延系统主要用于体硅外延、埋层外延、选择性外延等多种特色工艺的运行。该设备主要由传输系统模块、工艺腔室模块、压力控制模块等组成。精准的压力、气流场与温场控制,...
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- 品牌:北方华创
- 产地:北京 大兴区
HORIC L200卧式低压化学气相沉积系统,主要用于半导体产线8英寸及以下晶圆淀积SiN、POLY、SiO₂等薄膜,设备工艺性能好、产能大、可靠性高,可满足半导体领域的多种产线需求。设备包含净化工作...
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- 品牌:北方华创
- 产地:北京 大兴区
EPEE i200等离子体增强化学气相沉积系统主要用于6/8英寸氧化硅、氮化硅、氮氧化硅、磷硅玻璃、硼磷硅玻璃等薄膜沉积工艺,平台式多反应腔架构,兼容Si、SiC、GaAs等不同衬底材料,广泛应用于集...





























