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华兆科技(广州)有限公司
主营产品:半导体装备,3D打印机,化学分析仪器,高精度显微镜,电化学仪器等实验室科研仪器
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华兆科技(广州)有限公司

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等离子刻蚀设备Etch

 
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北方华创 NMC 508RIE介质刻蚀机
  • 品牌:北方华创
  • 产地:北京 大兴区
  • NMC 508RIE介质刻蚀机为电容耦合等离子体干法刻蚀机,适用6/8英寸介质层刻蚀工艺,具有高刻蚀速率和均匀性,工艺类型覆盖前道和后道所有介质刻蚀。该机台为多腔室集群设备,可全自动并行工艺、易维护、...

北方华创 NMC 508M金属刻蚀机
  • 品牌:北方华创
  • 产地:北京 大兴区
  • NMC 508M为高密度等离子体刻蚀机,适用6/8英寸金属干法刻蚀工艺。具备良好的铝线形貌控制能力、高刻蚀速率、高刻蚀均匀性、低颗粒/缺陷等性能优势。该机台为多腔室集群设备,含金属腔和去胶腔组合,可全...

北方华创 NMC 508CG多晶硅刻蚀机
  • 品牌:北方华创
  • 产地:北京 大兴区
  • NMC 508C/G为高密度等离子体刻蚀机,适用6/8英寸多晶硅、硅等干法刻蚀工艺。具备良好的形貌控制能力、高刻蚀速率、高刻蚀均匀性、低颗粒/缺陷等性能优势。该机台为多腔室集群设备,可全自动并行工艺,...