日本电子株式会社 ( 社长 栗原 権右衛門 ) 宣布：高通量分析电子显微镜JEM-ACE200F开发了，于2018年12月开始销售。
开发背景
随着半导体工业中器件的进一步小型化，使用透射电子显微镜(TEM)分析器件的结构、局部应变、参杂浓度等已经越来越重要。特别是形态观察、临界尺寸测量、元素分析等方面的数据采集提出了快速、稳定、高分辨率的要求。针对这些需求，日本电子开发了一种新的TEM—JEM-ACE200F。JEM-ACE200F通过创建实际操作工作流程系统，无需操作人员看管操作，即可实现数据的自动生成。由于集成了高端电镜JEM-ARM200F和通用型电镜JEM-F200硬件技术，JEM-ACE200F在性能和稳定性方面表现，同时，其外观方面也进行了更为精致的设计。
主要特点
1. 高通量
与自动显微镜调谐功能(TEM/STEM)相结合的快速数据采集。
缩短抽真空时间，从插入样品杆到开始观察只需30秒。
2. 友好的用户界面
基于日常显微镜操作的精密GUI。
所有的操作都可以通过鼠标操作来完成。
3. 流程方案易于编程和更改
工作流程的方案可以用直观设计的工具进行编程
工作流程可以使用各种标准化的编程语言进行灵活的编程。
4. 环保设计
采用高度环保的外壳。远程操作。
主要参数
TEM分辨率 ( 200 kV) | Point image 0.21 nm
Lattice image 0.10 nm
Information limit 0.11 nm |
STEM分辨率 (200 kV) | STEM DF image 0.136 nm
STEM BF image 0.136 nm |
电子枪 | Schottky field emission gun, ZrO/W(100) emitter |
加速电压 | 60 to 200 kV
(80, 200 kV; standard, Other voltages; option) |
样品移动 | X, Y: ± 1.0 mm Z: ± 0.2 mm |
样品倾斜角度 | TX/TY (with Specimen Tilting Holder) ±20°／±25°
TX (with Specimen High Tilting Holder) ±80° |
可选 | Energy dispersive X-ray spectrometer (EDS), Electron energy-loss spectrometer (EELS), Multi-specimen auto transfer system, Integrated TEM control system (Automation Center), TEM/STEM tomography system
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