奥地利EV Group致力于在光刻技术，EVG的卓越表现体现在其掩模同步器(EVG600,EVG6000,EVG IQ系列)和高度集成的涂层平台(EVG100系列)的高通量接触和近距离曝光能力。所有EVG的光刻设备平台可以完全集成到它的HERCULES光刻轨道系统中，并通过其计量工具进行全面的底端比对验证。