匀胶机产品特点:
1、稳定的转速和快 速启动,可保证胶厚度的一 致性和均匀性;
2、转速在12000转/分范围内稳定,美国国家标准 技 术研究院(NIST)认 证过;
3、采用PLC控制,速度可调节,在启动之后一般工艺先以低速运转使胶摊开,然后自动变到高速运转,步骤转速及相应的时间分别可调;
4、数据模拟:匀胶实验时将一组设定的涂胶速度和时长数值输入系统,系统会据此计算出速度设定方案,带有速度随 时间变化的曲 线;
5、数据记录:为了提 高实验的可重复性,设备会在数据记录模式下,实时记录下前一 次工艺过程的实验实际值,并将该组数据存储并重复调用,达到近乎一 致的可重复性;
6、NPP材质耐腐蚀及抗震;
一、匀胶机性能指标:
1、腔体尺寸:9.5英寸 (241 毫米);
2、Wafer芯片尺寸:10-150mm直径的材料,方片125x125mm;
3、转动速度:0-12,000rpm,
4、旋涂加速度:0-12000rpm/sec(空载);
5、马达旋涂转速:稳定性能误差<±1 %;
6、转速调节精度:<0.2rpm,重复性< 0.2rpm;
7、工艺时间设定:1-5999.9 sec/step 0.1精度;
8、匀胶机材质:NPP天然聚丙烯材质,抗腐蚀性和抗化学物性,美观大方;
9、高精 度数码控制器:PLC控制,设置点精度小于0.006%。
10、程序控制:可存储20个程序段,每个程序段可以设置51步不同的速度状态;
11、分辨率:分辨率小于0.5转/分,可重复性小于±0.5转/分,美国国家标准技 术研究院(NIST)认 证过的,并且不用再校准!]
12、配套真空泵系统:无 油型 220~240伏交流,50/60赫兹;
13、配套分析软件:SPIN3000操作分析软件;
14、原装进 口水平测试仪;
应用领域:
钙钛矿太阳能电池Perovskite solar cells
有机太阳电池
OPV有机光伏
OLED有机发光二 极管
OFET & TFT有机场效应晶体管&薄膜晶体管
Graphene &2D石墨烯&二维材料
Substrates衬底
Materials材料
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