详细介绍
SVT公司的样品解理部件可以将15mm（其他尺寸可选）的方形样品解理成15个1mm×15mm的Bar条。
所有解理出的bar条被收集到样品托，堆叠在一起进行下一步批量加工。
独特设计的解理工具避免了器件被破坏以及样品互相黏在一起的可能性。
此解理工具可完全适用于UHV环境。
解理机可以增加钝化层沉积模块。
解理后堆叠在一起的Bar条直接进入钝化室，不用暴露大气。
规格
在线bar条解理
加工15mm×15mm 样品（10mm-32mm可选）
加工成15mm×1mm 样品（1mm-5mm宽度可选）
8''法兰接口
可烘烤至180oC，（200oC可选）
样品可以两种方向加工
UHV环境兼容
Cassette装取
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