电子枪: | 钨灯丝 |
产品说明:
(1)放大倍率6万倍(Magnification Max 60,000 X);
(2)采用二次电子和背散射电子双重探测器(Signal Detection: SE Detector+BSE Detector);
(3)5kV~30kV加速电压选择,图像分辨率高(Accelerating Voltage:1kV to 30kV,High image resolution);
(4)通过选配EDS可进行元素成份分析(EDS is optional, for component analysis);
(5)Tilt(0~90)载物台配置(可选择)(Tilt Stage configuration( optional))。
产品特性:
(1)台式扫描电子显微镜,体型小巧,占用空间小;
(2)强大的软件功能,单窗口操作界面,让用户操作方便简单;
(3)软件实现检测图形实时存储;
(4)扫描电子显微镜产品结构设计简洁,易于维护及保养;
(5)自动平台采用中心定位模式,迅速定位待测样品。
技术参数:
分辨率 | 15nm (30kV, SE Image) |
20nm (30kV, BSE Image) | |
放大倍率 | 30~60,000 X |
加速电压 | 5kV to 30kV (5kV/10 kV /15kV/20kV/30 kV -5step) |
图像检测 | 二次电子图像-(SE)-Secondary Electron Image |
背散射电子图像(BSE)-Backscattered Electron Image | |
* Multi Detector (SE+BSE) | |
观察模式 | Standard Mode |
Charge-up reduction mode | |
电子枪系统 | |
灯丝类型 | 预对中钨灯丝 |
偏压系统 | 自动偏压方式 |
电子枪校正 | 手动方式 |
透镜构成 | |
聚光镜 | 2段式磁线圈透镜 |
物镜 | 1段式磁线圈透镜 |
探测器类型 | SE Detector/ BSE Detector |
载物台系统 | 自动或者手动 |
载物台移动 | 3轴(X,Y,R)或5轴(X,Y,R,Z,T) |
图像偏移 | Image shift X, Y Image Shift (±150μm) |
样品尺寸 | 高度40mm时直径70mm |
图像扫描 | 快速扫描: 320x240 (Scan time: 0.1 sec.) |
低速扫描 : 640x480 (Scan time: 3 sec.) | |
图片模式1: 1280x960 (Scan time: 30sec.) | |
图片模式2: 2560x1920 (Scan time: 60sec.) | |
图片模式3: 5120x3840 (Scan time: 120sec.) | |
自动功能 | 自动启动,自动聚焦,自动亮度对比度调节 |
图像存储格式 | BMP, JPEG, PNG,TIFF |
数据显示 | 放大倍率,探测器类型,电压,真空模式,Logo(Text),Date and time,Text marker,比例尺等 |
真空系统 | 高真空模式 (旋转式机械泵)Rotary Pump/100Liters/min (涡轮式分子泵)Turbo Molecular Pump/ 70Liters/sec 抽真空时间:3分钟以内 |
操控系统 | 鼠标和键盘 |
PC:台式电脑(Desk Top) | |
软件 | 图像文件打开,编辑,存储功能长度,面积,角度等测量功能,设置数初始化,图像拍摄模式转换,Archives, Setting(EDS)模式等 |
体积 | 设备主机-410(W)×660(D)×600(H)mm |
重量 | 95kg |
设备环境 | 温度:15℃~30℃ 电源:Single phase 100~240V AC, 1kW, 50/60Hz |
放大倍率30 ~60,000 X,15nm分辨率;
采用二次电子和背散电子双重探测器;
SS-60扫描电镜具有强大软件功能,操作简单,易于维护;
国产扫描电镜,良好售后服务系统。
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