氦质谱检漏仪的分类及特点

　　氦质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度Zgao，用得Z普遍的检漏仪器。

氦质谱检漏仪的分类

　　氦质谱检漏仪是磁偏转型的质谱分析计。单级磁偏转型氦质谱检漏仪灵敏度为10^-9～10^-12Pam³/s，广泛地用于各种真空系统及零部件的检漏。双级串联磁偏转型氦质谱检漏仪与单级磁偏转型氦质谱检漏仪相比较，本底噪声显著减小，其灵敏度可达10^-14～10^-15Pam³/s，适用于超高真空系统、零部件及元器件的检漏。逆流氦质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局，被检件置于检漏仪主抽泵的前级部位，因此具有可在高压力下检漏、不用液氮及质谱室污染小等特点。适用于大漏率、真空卫生较差的真空系统的检漏，其灵敏度可达10^-12Pam³/s。

　　1、单级磁偏转型氦质谱检漏仪

　　单级磁偏转型氦质谱检漏仪质谱室内有：由灯丝、离化室、离子加速极组成离子源;由外加均匀磁场、挡板及出口缝隙组成分析器;由YZ栅、收集极及高阻组成收集器;diyi级放大静电计管和冷阴极电离规。

　　在离化室N内，气体电离成正离子，在电场作用下离子聚焦成束。并在加速电压作用下以一定的速度经过加速极S1的缝隙进入分析器。

　　2、双级串联磁偏转型氦质谱检漏仪

　　由于两次分析，减少了非氦离子到达收集器的机率。并且，如在两个分析器的中间，即图中的中间缝隙S2与邻近的挡板间设置加速电场，使离子在进入第二个分析器前再次被加速。那些与氦离子动量相同的非氦离子，虽然可以通过diyi个分析器，但是，经第二次加速进入第二个分析器后，由于其动量与氦离子的不同而被分离出来。由于二次分离，双级串联磁偏转型氦质谱检漏仪本底及本底噪声显著地减小，提高了仪器灵敏度。

　　3、逆流氦质谱检漏仪

　　逆流氦质谱检漏仪是根据油扩散泵或分子泵的压缩比与气体种类有关的原理制成的。例如，多级油扩散泵对氦气的压缩比为100;对空气中其它成分的压缩比为10^4～10^6。检漏时，通过被检件上漏孔进入主抽泵前级部位的氦气，仍有部分返流到质谱室中去，并由仪器的输出指示示出漏气讯号。这就是逆流氦顷质谱检漏仪的工作原理。

氦质谱检漏仪的特点

　　全自动氦质谱检漏仪的显著优点：

　　1、操作简便：全自动氦质谱检漏仪结合简捷的双键操作功能及内置智能化系统可以提供简单但强大的测试性能。

　　2、功能强大：适用于各种检漏方法，优化设计的质谱室及真空系统功能强大，能适合各种检漏方法的要求，以满足各种各样的检漏应用。

　　3、配置齐全：多种系统配置，多种可选件，可以灵活地组成各种各样的系统配置。

　　4、坚固耐用：在坚固耐用方面的革新设计，使得全自动氦质谱检漏仪能适应各种恶劣的工业环境。

　　台式氦质谱检漏仪的显著优点：

　　1、适合批量测试使用：台式氦质谱检漏仪包含两台前级泵、高传到液压集成和三个检漏仪，大大缩短检漏周期。

　　2、前级泵可选择性：可以根据不同需求选择不能类型的前级泵。

　　3、操作简便：自动调整、校准、回零，使得检漏操作简便可靠。

　　4、运行稳定：单极开关启动或关闭，高性能阀门，保证设备可稳定运行百万次;自保系统可保证设备在误操作或电源故障条件免于损坏。

　　便携式氦质谱检漏仪的显著优点：

　　1、性价比高：便携式氦质谱检漏仪是一款Z实用的检漏仪，可覆盖广大的应用领域，竞争性的价格及较低的使用成本，大抽速前级泵的设计，可缩短抽气时间，提高使用效率;

　　2、自我保护功能：在突然暴露大气和突然断电时具有保护功能，系统的逆扩散设计保护了质谱室的清洁、真空，且不需要液氮;

　　3、结构灵活：可采用主机与前级泵单独采买，前级泵可使用油封式旋片泵或涡卷式干泵，对于便携式氦质谱检漏仪，既可选择带有连接配件的主机形式，也可选择安装在两轮小车上的整体形式。