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超声扫描显微镜为一种对传播媒介进行利用的无损检测设备。在工作中元器件、材料、晶圆等样品内部的分层、空洞、裂缝等缺陷通过反射或者透射等扫描方式来进行检查。可以将机械波和微小样品的弹性介质之间的相互作用精确地反应出来,可以对物体特性的差异进行利用为其特点。例如:被测物体没有必要透光;对于生物组织切片或样品没有必要染色,能够及时地进行观察;对于大规模集成电路,没有必要对样品表面进行损坏就能够进行内层的直接观察。一种新工具被提供来增进对物质性质的了解。
超声扫描显微镜原理
反射、折射、衍射和吸收等现象会在入射到物体上的机械波上发生。发生这些现象由于和物体发生相互作用而物体发生相互作用被含有,通过对某些物理效应加以利用显示出含有的新信息从而使得成像得以实现。至于显微分辨本领则类似于波长。现在来进一步阐述一下透射式SAM。压电换能器由电信号所激发,通过透镜从放在平面上的被测样品穿过。水为耦合媒质,几微米厚的聚酯树脂薄膜为载物片。当到达对面的透镜,压电换能器接收含有样品的信息又变成电信号,通过接收电路往示波器送。载物台在机械扫描装置的作用下做二维扫描运动,逐点逐行地照射样品,当示波管的电子束运动和机扫相同步的时候,一幅对应于物体的被照射部位出现在屏幕上,许多像元共同构成了此幅部位。因为扫描的限制,需要几秒才可以完成。
超声扫描显微镜主要功能
内部显微观测被提供给各种材料和部件。
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