超声扫描显微镜

超声扫描显微镜为一种对传播媒介进行利用的无损检测设备。在工作中元器件、材料、晶圆等样品内部的分层、空洞、裂缝等缺陷通过反射或者透射等扫描方式来进行检查。可以将机械波和微小样品的弹性介质之间的相互作用精确地反应出来，可以对物体特性的差异进行利用为其特点。例如：被测物体没有必要透光；对于生物组织切片或样品没有必要染色，能够及时地进行观察；对于大规模集成电路，没有必要对样品表面进行损坏就能够进行内层的直接观察。一种新工具被提供来增进对物质性质的了解。

超声扫描显微镜简介

通过如此这般逐点逐行地扫描样品而使得一副完整的图像形成。一个正的或负的值被附加在反射回来的机械波上。如此样品的深度就能够使用信号传输的时间来进行反映了。接收到的反馈信息通过用户屏幕上的数字波形来进行展示。相应的门电路被设置，采用此种定量的时间差测量（反馈时间显示）就能够对您所要观察的样品深度和范畴进行选择。

超声扫描显微镜说明

若多个门电路被放置，那么样品内部不同深度的多幅图像就能够通过监控屏幕而获得。按照需要对多个传感器进行选择，如此不同波长的机械波和镜头就会获得。分析每一个扫描点反馈回来的信号进行正负和传输时间，并且相位的反转情况采用颜色简单的进行表示，采用无数的扫描单元用来进行自动图像分析。

超声扫描显微镜技术指标

1、分层缺陷

2、空洞,气泡,空隙。

3、材料内部的晶格结构，杂质颗粒．夹杂物．沉淀物

4、 内部裂纹.

超声扫描显微镜为一种对传播媒介进行利用的无损检测设备。在工作中元器件、材料、晶圆等样品内部的分层、空洞、裂缝等缺陷通过反射或者透射等扫描方式来进行检查。可以将机械波和微小样品的弹性介质之间的相互作用精确地反应出来，可以对物体特性的差异进行利用为其特点。例如：被测物体没有必要透光；对于生物组织切片或样品没有必要染色，能够及时地进行观察；对于大规模集成电路，没有必要对样品表面进行损坏就能够进行内层的直接观察。一种新工具被提供来增进对物质性质的了解。

超声扫描显微镜原理

压电换能器在脉冲回波的性质的激励作用下，将多束电信号发出，从耦合液介质经过往被测样品传递，在从不同介质经过时会有折射、反射等现象发生。在从阻抗不同的材料通过的时候会有波形相位、能量上的变化等现象发生。通过一系列数据采集计算使得成灰度值图片形成，能够用来对样品内部状况进行分析。

作为无损检测分析中的一种，其能够使在对物料电气能进行破坏以及使结构完整性得以保持的前提下来对物料的检测得以实现。在研发、可靠性质量保证、质量控制、元器件二次筛选、可靠性分析、破坏性物理分析、失效分析以及物料检测等领域得到了十分广泛地应用。

超声扫描显微镜英文名称来源

Scanning Acoustic Microscope为超声波扫描显微镜英文名称，SAM为其简称，因为C模式为其主要工作模式。所以也简称成C-SAM。。如今在做失效分析的实验室里，此设备直接被叫做C-SAM，就类似于X射线透射机被叫做X-Ray。

超声扫描显微镜为一种对传播媒介进行利用的无损检测设备。在工作中元器件、材料、晶圆等样品内部的分层、空洞、裂缝等缺陷通过反射或者透射等扫描方式来进行检查。可以将机械波和微小样品的弹性介质之间的相互作用精确地反应出来，可以对物体特性的差异进行利用为其特点。例如：被测物体没有必要透光；对于生物组织切片或样品没有必要染色，能够及时地进行观察；对于大规模集成电路，没有必要对样品表面进行损坏就能够进行内层的直接观察。一种新工具被提供来增进对物质性质的了解。

超声扫描显微镜特点

不是破坏性的，对于样品没有损坏。有着较高的分辨率，能够对缺陷在样品内部的精确位置进行确定。能够将机械波和微小样品的弹性介质之间的相互作用精确地反映出来，并且分析从样品内部反馈回来的信号为其主要的特点。图像上的每一个象素和从样品内某一特定深度的一个二维空间坐标点上的信号反馈相对应，机械波可以通过功能良好的传感器进行发射和接收。

超声扫描显微镜在失效分析中的应用

锡球、晶圆或填胶中的开裂晶圆的倾斜各种可能的孔洞（晶圆接合面、锡球、填胶等）以及晶圆面处分层缺陷。在失效分析中，非破坏性、对材料进行无损检测、能够分层扫描、多层扫描IC芯片内部结构并且能够进行直观的图像分析、测量 缺陷以及统计缺陷面积和数量、能够对材料内部的三维图像进行显示、不会伤害到人体以及能够对裂纹、分层、夹杂物、附着物、空洞、孔洞等各种缺陷进行检测为超声波显微镜的优势。

超声扫描显微镜为一种对传播媒介进行利用的无损检测设备。在工作中元器件、材料、晶圆等样品内部的分层、空洞、裂缝等缺陷通过反射或者透射等扫描方式来进行检查。可以将机械波和微小样品的弹性介质之间的相互作用精确地反应出来，可以对物体特性的差异进行利用为其特点。例如：被测物体没有必要透光；对于生物组织切片或样品没有必要染色，能够及时地进行观察；对于大规模集成电路，没有必要对样品表面进行损坏就能够进行内层的直接观察。一种新工具被提供来增进对物质性质的了解。

超声扫描显微镜反射模式

带压电陶瓷的微波链为超声显微镜反射模式的核心，在射频信号发生的激励下，短的声脉冲由压电陶瓷产生，在此之后，声透镜聚焦了这些声脉冲。换能器即为超声波扫描显微镜的这个带压电陶瓷的部件的名称。电信号可以通过换能器被转换成声波信号，电信号又可以通过从待测样品反射或透射回来的声波信号转换而来，送回系统进行处理。  

将电磁脉冲转换成声脉冲为换能器的主要功能，离开换能器以后，声透镜利用耦合介质（通常是去离子水或无水酒精等）在样品上聚焦声波。为了避免超声波信号快速衰减是耦合介质的主要原因，由于在一些稀疏介质中传超声波信号，因此是会快速衰减。在耦合介质中放置样品，只要在样品表面或者内部声波信和声波阻抗介面相遇，就会有反射发生。

反射信号被换能器接收了以后，会被转换成电脉冲，256级灰度值为超声波信号转换成电脉冲后的表征。特定的超声波频率为每只换能器所具有，能够针对用户的需要特别配置。超声波扫描显微镜反射工作模式的基本过程即为此过程。