小型离子溅射仪

仪器简介：

本仪器主要适用于扫描电子显微镜样品镀膜导电膜(金膜),仪器操作简单方便,
是配合中小型扫描电子显微镜制样必备的仪器。

技术参数：

1.靶（上部电极）：材料：金，直径：50mm，厚度：0.1mm　纯度：99.999%

2、真空室：直径：160mm，高：110mm

3.样品台（下部电极）：溅射面积：直径：50mm

4．工作真空： 2×10^-110^-1 mbar

5.离子电流表：最大电流：50mA

6.计时器：根据溅射习惯设定单次溅射时间。

7.最高电压：-1600DVC

8.机械泵:2升/每秒

9.工作室工作媒介气体：空气或氩气，

10．真空气阀： 配有氩气专用进气口和微量充气调节，可连接φ4*2.5mm软管。

主要特点：

轻便、溅射面积大
靶材可按用户要求加工制作