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驰奔GC系列小型离子溅射仪

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联系方式:400-822-6768

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详细介绍

【简介】


驰奔-E系列扫描电镜,高真空模式或高分辨模式,要求样品必须导电良好,否则样品表面荷电造成图像缺陷和分辨率恶化。


对于非导电样品,表面导电膜层制备,最常使用溅射金属导电膜层。常用贵金属如Au、Pt、Au/Pd合金,获的细小晶粒的精细膜层。


驰奔GC系列离子溅射仪,可满足各种材料的溅射镀膜、各种扫描电镜额溅射镀膜。为客户提供正确解决方案。



【特点】


● 多种靶材可供可选


● 两种普通直流和磁控溅射模式可选


● 大型玻璃工作室,溅射过程中真空稳定,溅射电流稳定,溅射膜层均匀。


● 可以实现冷溅射,无样品热损伤。


● 可选择旋转样品台、可倾斜旋转台。确保极度粗糙表面,球形颗粒获得良好镀膜。




【技术指标】


真空样品室: 直径:160mm,高:120mm

样品台及工作距离:高配旋转样品台,简配固定样品台,高度手动调节

溅射面积: Ф50mm,最大放置

真空指示表: 最高真空度:≤ 4X10-2 mbar

离子电流表: 最大电流:50mA/100mA

高压:-1200V/ -3000V

定时器: 最长时间:1~3600S

真空度手动控制:微型真空气阀,可连接φ3mm软管

可通入气体: 多种、

机械泵: 2L/S (120L/min)


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