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日立Hitachi 离子溅射仪 MC1000
- 品牌：日立
- 型号： MC1000
- 产地：日本
- 供应商报价： 面议
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深圳市蓝星宇电子科技有限公司
更新时间：2024-04-24 09:08:30 -
企业性质生产商
入驻年限第6年
营业执照已审核
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- 详细介绍
日立Hitachi 离子溅射仪 MC1000
特点：
。采用LCD触摸屏，可以更加简便地设定加工条件
。可处理较厚或较大的样品(选配件)
。记忆功能可存储常用加工条件规格：
项目 说明 放电： 类型： 磁控二极管放电型(电场垂直于磁场) 电极组成： 反向平行盘(嵌入磁铁) 电压： 最大 0.4 kV DC(直流可变) 电流： 最大 40 mA DC 喷镀速率 *1(最大)：
[条件]：
压力：7 Pa
放电电流：40 mA
标靶与样品表面之间的距离：20 mmPt 靶(选配件)： 15 nm/min Pt-Pd 靶(选配件)： 20 nm/min Au 靶(选配件)： 35 nm/min Au-Pd 靶(选配件)： 25 nm/min 样品尺寸： 最大直径： φ60 mm 最大高度： 20 mm 机械泵： 135/162 l/min (50/60Hz) 靶材*2： Pt , Pt-Pd (8:2) , Au , Au-Pd (6:4) 电源要求： 单相, 100 V AC (±10%) 15 A (50/60 Hz), 3-针插头线缆(3 m) 尺寸： 宽度： 450 mm 长度： 391 mm 高度： 390 mm 重量： 主机：约 25 kg
机械泵：约 28 kg- 产品优势
- 日立Hitachi 离子溅射仪 MC1000
。采用LCD触摸屏，可以更加简便地设定加工条件
。可处理较厚或较大的样品(选配件)
。记忆功能可存储常用加工条件
