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镭测科技激光干涉仪LH1000双频激光干涉仪
- 品牌：北京镭测
- 型号： LH1000
- 产地：朝阳区
- 供应商报价： 面议
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北京镭测科技有限公司
更新时间：2023-07-31 13:59:15 -
企业性质生产商
入驻年限第2年
营业执照已审核
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- 标签： 激光干涉仪 双频激光干涉仪 光刻机干涉仪 北京镭测科技
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- 详细介绍
镭测科技激光干涉仪LH1000双频激光干涉仪
专为光刻机配套开发的高精度测量系统；
通过国家重大专项“极大规模集成电路制造技术及成套工艺”项目验收。
采用直接输出线偏振光的双频激光器；
非线性高精密测量系统，测量更精确；
可提供1~20MHz频差内任意频差产品，满足各种测量速度需要。
光源和测量信号接收单元分体式设计，方便搭建XY位移台等多轴测量系统；
精巧的测量信号光纤接收头，即使空间狭小也能方便安装；
标准光刻机干涉仪安装尺寸和数据接口，可直接替换现有产品。
型号
频差(MHz)
最小出光功率(μW)
光斑尺寸(mm)
稳频精度(ppm)
LH1000A
1.5±0.5
>500
6
±0.02
LH1000B
2.5±0.5
> 500
6
±0.02
LH1000C
3.5±0.5
> 500
3, 6, 9
±0.02
LH1000D
4.5±0.5
>500
6, 9
±0.02
LH1000DL
5.5±0.5
> 500
6, 9
±0.02
LH1000EL
6.5±0.5
>500
6
±0.02
LH1000FL
7.5±0.5
>500
6, 9
±0.02
LH1000GL
8.5±0.5
> 500
9
±0.02
LH1000H
9.5±0.5
> 500
3, 6, 9
±0.02
LH1000I
10.0-20.0(按需定制)
> 500
3, 6, 9
±0.02
北京镭测科技有限公司为您提供镭测科技激光干涉仪LH1000双频激光干涉仪，镭测科技激光干涉仪LH1000双频激光干涉仪产地为北京，属于国产激光干涉仪激光干涉仪，是您进口设备转国产化的优选产品，除了镭测科技激光干涉仪LH1000双频激光干涉仪的参数、价格、型号、原理等信息。
- 产品优势
- 专为光刻机配套开发的高精度测量系统；双频激光干涉仪，进口设备转国产化的优选产品
