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KLOE 微流控芯片光刻机/曝光机 UV-KUB系列 资料
本文由 北京燕京电子有限公司 整理汇编
2024-09-15 17:10 1579阅读次数
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法国KLOE公司在光刻方面有着丰富的经验,其研发的UV- KUB系列光刻机是一种基于UV LED的曝光机系统,结构紧凑,可以直接放置在实验台上,能够处理Zda直径4英寸的晶圆,兼容硬接触(接触式)或者软接触(接近式)工艺,可自动调整掩膜高度以适应不同的基板厚度,可使用365 nm或405 nm的光源,不需要预热,也不需要单独的冷却单元。另外,UV-KUB系列先进的设计,保证了光源的准直性和均匀性,其Z小分辨率可达2μm,Zda发散角小于2°
本系统适用于市面上常用的光刻胶,如AZ系列、Shipley系列、SU-8系列和K-CL系列。
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KLOE 微流控芯片光刻机/曝光机 UV-KUB系列 资料
法国KLOE公司在光刻方面有着丰富的经验,其研发的UV- KUB系列光刻机是一种基于UV LED的曝光机系统,结构紧凑,可以直接放置在实验台上,能够处理Zda直径4英寸的晶圆,兼容硬接触(接触式)或者软接触(接近式)工艺,可自动调整掩膜高度以适应不同的基板厚度,可使用365 nm或405 nm的光源,不需要预热,也不需要单独的冷却单元。另外,UV-KUB系列先进的设计,保证了光源的准直性和均匀性,其Z小分辨率可达2μm,Zda发散角小于2°
本系统适用于市面上常用的光刻胶,如AZ系列、Shipley系列、SU-8系列和K-CL系列。
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2024-09-15 17:10
标准
KLOE 微流控芯片光刻机/曝光机 UV-KUB系列 资料二
法国KLOE公司在光刻方面有着丰富的经验,其研发的UV- KUB系列光刻机是一种基于UV LED的曝光机系统,结构紧凑,可以直接放置在实验台上,能够处理Zda直径4英寸的晶圆,兼容硬接触(接触式)或者软接触(接近式)工艺,可自动调整掩膜高度以适应不同的基板厚度,可使用365 nm或405 nm的光源,不需要预热,也不需要单独的冷却单元。另外,UV-KUB系列先进的设计,保证了光源的准直性和均匀性,其Z小分辨率可达2μm,Zda发散角小于2°
本系统适用于市面上常用的光刻胶,如AZ系列、Shipley系列、SU-8系列和K-CL系列。
[详细]
2024-09-15 17:11
标准
光刻机uv-kub 2-Brochure
光刻机uv-kub 2-Brochure[详细]
2022-07-05 11:23
标准
光刻机uv-kub 3-Brochure
光刻机uv-kub 3-Brochure[详细]
2024-09-19 23:59
标准
紫外掩膜曝光光刻机
美国恩科优N&Q系列光刻机(Mask Aligner),是领xian的光刻系统,在光刻领域有超过35年的经验,售出1000多套设备,为半导体制造和科研领域提供品质优良稳定的全波段紫外光刻机系统,广泛的应用于半导体光刻工艺制程、微机电MEMS、二极管芯片、发光二极体(LED)芯片制造、生物器件、纳米科技、显示面板LCD、光电器件、奈米压印以及电子封装等诸多领域。客户如美国航空航天公司、飞利浦、摩托罗拉、惠普、美国国家半导体公司、牛津大学、剑桥大学、斯坦福大学、伦敦大学、台塑、墨尔本大学、华盛顿州立大学、方大集团、大联大集团、光宝科技、汉磊股份、厦门乾照光电股份有限公司等等。[详细]
2024-09-28 08:12
产品样册
玻璃碎片曝光机 JZ-SGE-A
玻璃碎片曝光机/型玻璃碎片曝光仪型号:JZ-SGE-A1.用途:JZ-SGE-A型玻璃碎片曝光机是用于汽车、建筑、机车钢化玻璃碎片状态试验的必备设备。本机精心选择对晒图纸曝光敏感的紫外光做光源,提高了曝光效率,具有玻璃碎片成像清晰的特点;本机应用单片机实现曝光时间和对开式挡光板自动控制;具有曝光时间可调、定时准确的特点;其技术指标符合国家标准《汽车用安全玻璃》(GB9656)、建筑用《钢化玻璃》国家标准(GB9963),《铁路车辆用安全玻璃》(GB18045)的要求,尤其是能对实物样品玻璃上的商标和3C强制认证标识进行曝光晒图。2.主要技术指标:挡光板开/关时间:≤5s;挡光板Zda开启角度:≤120°;曝光光强稳定时间:≤180s(自动声响提示);Zdi安装高度:1.6m(对应曝光面积2×1m);光源起辉时间:≥2s;光源再起辉Z小间隔时间:5min;曝光时间设定范围:1-999s(四位数码显示);无线遥控距离:≥10m;功率消耗:220VAC≤680W;[详细]
2018-09-24 10:00
产品样册
UVK3高分辨率紫外曝光机
详细介绍了UVK3紫外曝光机的功能及应用领域和规格参数[详细]
2020-03-29 12:03
产品样册
Micronit 微流控芯片标准夹具 FC系列 资料二
荷兰Micronit研发的FC系列微流控芯片标准夹具,适用于Micronit的标准微流控芯片,也适配Micronit设计的标准顶端进样芯片(45mm x 15mm)或标准侧边进样芯片(15 mm x 15 mm或者15 mm x 30 mm的)。夹具以其特有的密封设计,保证与芯片的紧密连接,同时也不会对微流控芯片造成损伤。
芯片夹具的主体材质采用不锈钢、铝合金或者PEEK,坚固耐用,配套特氟龙连接套装,包含特氟龙连接管和密封圈,可以满足绝大多数试剂的使用。
[详细]
2024-09-15 17:09
标准
Nanonex光刻机/紫外光刻机
Nanonex光刻机/紫外光刻机[详细]
2024-09-14 13:44
课件
Eden-microfluidics 微流控芯片快速制备材料 Flexdym ™ 资料
Flexdym ™是一种新型微流控芯片制作材料,其物理性质与PDMS相似,但抛弃了PDMS加工工艺复杂,加工时间长等缺点,是制作微流控芯片的新选择。Flexdym ™在Sublym100 ™芯片快速成型机中真空热压1分钟即可定型,键合时无需对芯片表面进行等离子表面处理,只需使用热板加热即可完成与基板的键合。此外,Flexdym ™具有极低的粘度,可用于快速热成型,填充率是传统硬质热塑性塑料(COC、PS、PMMA等)的100-1000倍。[详细]
2024-09-15 17:09
标准
电子束光刻机(多功能超高精度电子束光刻机P21)
电子束光刻机(多功能超高精度电子束光刻机P21)
依托垄断性专利技术,百及纳米推出国际领先的超高精度大面积写场电子束光刻机 P21 系列。 百及纳米S次开发了新一代电子束光刻机的电子束闭环控制新原理。百及超高精度电子束光刻机 P21 是第一款新一代电子束光刻机的代表,在著名电子束光刻机制造商德国 Raith 公司的成熟机型上 升级而成。该系列主要包括 P21-2,P21-4 和 P21-6 三个型号,区别主要在于样品尺寸(2,4,6 英寸晶圆)及扩展使用功能。P21 不仅完整地保留了原电子束光刻机的整体功能,且集多项国际领先的关 键指标于一身,包括:
• 国际上S次开发的新颖电子束闭环控制系统,能够实现电子束的原位检测与校正;
• 国际领先的写场拼接精度≤2 nm;
• 电子束光刻的长期稳定性。精确校正电子束的空间漂移,将其位置稳定性提高到≤10 nm/h; 有利于通过提高电子束光刻时间实现大尺寸图形的曝光需求。
百及纳米的 P21 系列以常规电子束光刻机为载体,通过独家专利技术对其进行功能及性能指标的大幅提升。P21 光刻机组件均为德国原装制造。[详细]
2022-09-05 22:02
选购指南
微流控芯片实验室
微流控芯片实验室[详细]
2024-09-14 01:07
操作手册
Eden-microfluidics微流控芯片真空热压成型机Sublym100 ™ 资料
Sublym100 ™微流控芯片真空热压成型机来自法国Eden-microfluidics公司,用于微流控芯片快速成型,配合Flexdym™材料,可以非常快速的完成微流控芯片成型,也可以用于微流控芯片的热压键合。此真空热压成型机使用时,仅需3步,便可完成微流控芯片的成型、热压键合等操作,无需额外处理(等离子、溶剂或真空),使用简单,操作方便,是微流控芯片实验室的有力工具。[详细]
2024-09-15 17:09
标准
Micronit 微流控芯片标准夹具 FC系列 操作手册
荷兰Micronit研发的FC系列微流控芯片标准夹具,适用于Micronit的标准微流控芯片,也适配Micronit设计的标准顶端进样芯片(45mm x 15mm)或标准侧边进样芯片(15 mm x 15 mm或者15 mm x 30 mm的)。夹具以其特有的密封设计,保证与芯片的紧密连接,同时也不会对微流控芯片造成损伤。
芯片夹具的主体材质采用不锈钢、铝合金或者PEEK,坚固耐用,配套特氟龙连接套装,包含特氟龙连接管和密封圈,可以满足绝大多数试剂的使用。
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2024-09-15 17:09
标准
CorSolutions PDMS微流控芯片打孔器 PDMS Port Creator 资料
CorSolutions PDMS微流控芯片打孔器,可以在PDMS芯片上实现快速、方便又极ng确的打孔。此款打孔器配备了对准摄像头和显示器,只需通过摄像头对准需要打孔的位置,然后压下打孔针,打孔针便可以保持在垂直方向上,完成在PDMS微流控芯片上的打孔,并且在之后的抬起过程中,从PDMS微流控芯片上取出的PDMS圆柱芯也会自动从打孔针中脱落,从而避免了PDMS残屑可能带来的堵塞问题。如果需要在PDMS芯片上打其他直径的孔,只需从安装柱上拆下打孔器的头部,并将其替换为所需所需直径的打孔器头部即可。[详细]
2024-09-11 17:46
标准
无掩膜光刻机
光刻机又名掩膜对准曝光机,是芯片制造流程中光刻工艺的核心设备。其主要用途是生产集成电路,将设计好的集成电路模板复刻到硅晶圆上,从而生产出微小、精确、高效率的集成电路。
根据光刻机的曝光方式,主要可以分为接触式光刻机、接近式光刻机和直写式光刻机,其中直写式光刻机又可以依据其是否需要使用掩膜版细分为有掩膜和无掩膜两种。无掩膜光刻机是一种不需要使用传统掩膜版的光刻机,它通过直接对晶圆进行曝光,实现图案的转移,能够更快速地制造特定产品、降低成本,除了能够满足传统的2D光刻需求外,还能实现2.5D光刻(即灰度光刻)。无掩膜光刻机不需要掩膜版、高度灵活的优点,使其被广泛应用于科学研究、定制化生产、快速原型制造、电子器件、生物医药、光学元件、微机械等领域。[详细]
2024-09-15 17:53
产品样册
Eden-microfluidics微流控芯片环氧树脂模具制作工具套装Epoxym ™ 资料
Epoxym ™微流控芯片环氧树脂模具制作工具套装来自Eden-microfluidics,是专门用于微流控芯片模板(SU-8,硅或玻璃等易损材质)的复制工具,复制后的环氧树脂芯片模板坚固耐用,使用寿命长。
其使用步骤分为两步:步骤一,使用硅树脂(例如PDMS)浇筑在需要复制的模具上,制作一个反模;步骤二,利用制作出来的硅树脂反模,使用环氧树脂在反模中完成模具的复制。
[详细]
2024-09-15 17:11
标准
美国MAC机控阀1800系列选型资料
美国MAC机控阀1800系列选型资料功能接囗尺寸流量(Zda)安装方式5/2----5/31/4”3/8”1.4Cv管接/串接技术参数:介质压缩空气,真空或惰性气体压力范围真空到150PSI流量范围1/4”1/8”:1.4Cv润滑不需要,如果需要请选用中性油过滤要求40泄漏量50cm/min订货方式:阀体选择:18①②③④---⑤-⑥-⑦①②③④阀体类型⑤阀体类型⑥阀体类型⑦接口尺寸0001有弹簧底板1二位单压,1#进气,4\5#排气或真空1管接,外先导1/4”21/4”NPT0002有弹簧底板\适用0034,0035,00392二位双压,4\5#进气,1#排气或真空2串接,3个共用口33/8”NPT0003有弹簧底板,带安装螺孔5三位中封,1#进气,4\5#排气3串接,1个共用口(进气)51/4”BSPP6三位中泄,1#进气,4\5#排气9串接,3个共用口(内置流量控制)63/8”BSPP7三位中压,双压,4\5#进气,1#排气8三位中压,单压,4\5#进气,1#排气备注:2、3#为气缸口操作类型:⑧⑨⑩⑧⑨⑩⑧⑨⑩⑧⑨⑩0111垂直下压凸轮开关平行于2和3口0023带锁定上拉式手柄开关垂直于阀体0033圆形按钮,有保护圈0112垂直下压凸轮开关垂直于2和3口0024无锁定上拉式手柄开关垂直于阀体0034锁定式圆形按钮0013平行移动凸轮开关垂直于2和3口0025带锁定下按式手柄开关平行于阀体0035锁定圆形按钮,有面板固定螺丝0014平行移动凸轮开关平行于2和3口0026无锁定下按式手柄开关平行于阀体0036蘑菇形按钮0021带锁定下按式手柄开关垂直于阀体0027带锁定上拉式手柄开关平行于阀体0037蘑菇形按钮,有面板固定螺丝0022无锁定下按式手柄开关垂直于阀体0028无锁定上拉式手柄开关平行于阀体0038蘑菇形按钮,有保护圈0031圆形按钮0032圆形按钮,有面板固定螺丝0039锁定式蘑菇形按钮[详细]
2018-09-29 10:00
产品样册
美国MAC机控阀1100系列选型资料
美国MAC机控阀1100系列选型资料功能接囗尺寸流量(Zda)安装方式3/2----2/21/4”1/8”0.18Cv管接/串接/板接技术参数:介质压缩空气,真空或惰性气体压力范围真空到150PSI流量范围1/4”1/8”:0.18Cv润滑不需要,如果需要请选用中性油过滤要求40泄漏量50cm/min订货方式:阀体选择:11①②A-①②管接①②串接①②板接111/8”NPT,通用管接811/8”NPT,三通20二通常闭,无底座131/4”NPT,通用管接831/4”NPT,三通30通用三通,无底座611/8”NPT,三通常闭841/8”NPT,三通常闭32通用三通,有底座1/8”NPT631/4”NPT,三通常闭851/4”NPT,三通常闭40二通常开,无底座42二通常开,有底座1/8”NPT70三通常闭,无底座72三通常闭,有底座1/8”NPT操作类型:③④⑤③④⑤③④⑤③④⑤011垂直下压凸轮开关平行于1和2口023带锁定上拉式手柄开关垂直于1和2口031圆形按钮012垂直下压凸轮开关垂直于1和2口024无锁定上拉式手柄开关垂直于1和2口032圆形按钮,有面板固定螺丝013平行移动凸轮开关垂直于1和2口025带锁定下按式手柄开关平行于1和2口033圆形按钮,有保护圈014平行移动凸轮开关平行于1和2口026无锁定下按式手柄开关平行于1和2口036蘑菇形按钮021带锁定下按式手柄开关垂直于1和2口027带锁定上拉式手柄开关平行于1和2口037蘑菇形按钮,有面板固定螺丝022无锁定下按式手柄开关垂直于1和2口028无锁定上拉式手柄开关平行于1和2口038蘑菇形按钮,有保护圈[详细]
2018-09-29 10:00
产品样册
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