从颗粒检测到材料溯源，清洁度设备如何科学选型？

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在锂电、汽车、钢铁与半导体等高端制造领域，微米级颗粒与非金属夹杂物已成为影响可靠性、良率与产品寿命的关键因素。清洁度不再只是检测项目，而是企业核心竞争力的重要组成部分。科学选型，决定质量上限。

01.锂电清洁度管控ParticleX Battery 全自动锂电清洁度检测

【行业标准】

锂电池中的铜、锌、铁等金属异物可能导致严重的安全事故，对金属异物的管控也已成为行业共识。飞纳电镜 ParticleX Battery 全自动锂电清洁度分析系统，基于扫描电镜 + 能谱法可自动识别、分析和统计铜、锌、铁等金属异物，进而帮助分析异物来源，改善生产条件，减少安全事故的发生。

• 全自动识别、分析、统计铜（Cu）/锌（Zn）等金属异物
• 7x24h 无人值守，隔夜分析
• 定制化分析程序，满足各类

磷酸铁锂扫描电镜图

金属异物的统计结果（筛分法）

金属异物的平均成分（筛分法）

自动获取的磷化铁的详细信息

02.汽车清洁度管控ParticleX AC 全自动汽车清洁度检测【电镜法】

ParticleX 全自动汽车清洁度分析系统通过 SEM-EDS 自动化实现颗粒的尺寸、形貌与化学成分分析，被认为是目前“最有效的清洁度检测方法之一”，能够生成符合 ISO/VDA 标准的标准化报告，显著提升颗粒污染可溯源性和检测效率。

• 基于 SEM 和 EDS 成分分析
• 符合 VDA19 和 ISO16232 标准
• 7X24h 全自动分析
• 自动检测 SiO， AlO 等硬质颗粒并分类

从研发到生产，ParticleX AC 提供的定量数据快速、准确又可靠，一键导出报告的功能更是省时省力。目前，奔驰、宝马、博泽、三电、三花等国内外知名车企都已投入使用。

MicroQuick 高性价比清洁度快速分析仪

MicroQuick 颗粒扫描仪由 RJL 公司开发，用于快速分析零部件的清洁度。该方法已成为行业标准已有 15 年多的历史，并且符合 VDA-19.1 和 ISO-16232 标准。这款高分辨率颗粒扫描仪能够在不到 3 分钟的时间内自动确定残留污染物颗粒的数量、大小、形状以及金属光泽。

• 行业标准：符合 VDA19 / ISO16232
• 快速简便：2.5 分钟内完成过滤分析并生成报告
• 绝对可靠：10 年内零维修案例
• “零”维护：自行校准，自动生成审计报告

03.钢铁夹杂物检测ParticleX Steel 全自动钢铁夹杂物分析

ParticleX Steel 实现了从样品制备、图像采集、成分分析到报告生成的全流程自动化。技术突破在于将扫描电镜与能谱仪一体化集成，能够自动识别、分析数万至数十万个夹杂物颗粒，并依据国际标准进行分类统计。ParticleX 全自动夹杂物分析系统可对大尺寸样品进行原位统计，输出夹杂物数量、尺寸分布、体积分数及三元相图成分分布等结果。相比手动分析，效率提升 10 倍以上，且支持一键定位异常夹杂物进行深度分析。

通过 ParticleX Steel，可以获得如下结果： 01.大量夹杂物的形貌，尺寸，成分，以及分类

02.各类夹杂物的分布情况（按数量分布）

03.不同种类夹杂物的成分及含量信息（均值）

04.将夹杂物的组成分布体现在自定义的三元分布图

05.极值分析，预测最大夹杂物尺寸

06.重新定位特定夹杂物，成分面分布扫描

钢铁行业部分用户

04.Fastmicro 洁净室与制程监控环境落尘颗粒实时监控仪 PFS

Fastmicro 环境落尘颗粒实时监控仪，专为洁净室颗粒沉积速率测量而研发，支持秒级间隔的数据采集，精准测量 0.5μm 以上颗粒。结合直观易用的软件系统，帮助客户实现从单纯空气监测向表面洁净度监测的跨越式升级，为工艺流程优化和洁净度持续改进提供科学依据。

• 符合 ISO 14644-17 标准
• 可检测低至 0.5μm 颗粒
• 10 秒完成 2 英寸面积检测
• 适用于真空与常压环境

仪器表面颗粒物分析仪 SAS

Fastmicro 仪器表面颗粒物分析仪，是一款基于“胶带粘取”采样技术的表面污染检测工具，可通过间接测量方式识别小至 0.5μm 的颗粒污染物。其配备的专用 PMC 采样卡能在各类表面（包括难以触及区域和高粗糙度表面）实现灵活采样，且不会残留可检测的痕迹。该设备可在数秒内完成 225mm 采样区域的分析，确保快速获得精准检测结果。搭配 2 英寸晶圆支架，也可对沉降颗粒进行检测，满足跨行业复杂场景的检测需求。

• 符合 ISO 14644-9 标准
• 可检测低至 0.5μm 颗粒
• 90% 采集效率 | >90% 重复性
• 10 秒完成检测
• ASML 也在用！

Dr. Ir. L.H.A. Leunissen | ASML, cleanliness project manager 说到：“作为长期合作伙伴，Fastmicro 的整合应用使我们达成了设备缺陷率指标要求。该设备不仅测量精准，更具备操作简便和高通量特性。我们高度认可 Fastmicro 的专业服务，并期待未来通过深度合作进一步拓展设备的功能边界。”