中文网络研讨会邀约 | 纳米粒子监测技术重新定义洁净室与微污染控制

可靠的纳米级颗粒计数技术可用于优化洁净室及生产工艺。传统监测手段主要围绕微米级技术及标准展开，旨在对洁净室和工艺流程进行微米级监测。凝结核粒子计数技术（CPC）虽能实现纳米级检测以提升尺寸灵敏度，但通常因操作流程复杂导致可靠性不足。NanoAir10设备突破了这些局限：其紧凑机身可直接部署于工艺设备内部、晶圆暴露区域，并能配合ParticleSeeker智能集流器实现半连续监测。凭借业界领先的纳米级CPC零计数指标，NanoAir10可提供最可靠的10纳米级检测结果。

PMS诚邀您参与本次网络研讨会，我们的技术专家将重点向您展示该技术如何优化洁净室工艺流程，提升洁净制造规范，以满足IRDS标准的严苛要求。

您将通过本次网络研讨会收获

• 洁净室监测从微米级向纳米级分辨率的转变

• 应对纳米级颗粒计数可靠性挑战

• 增强监测能力与行业标准接轨

报名方式

长按上方二维码，进入报名页后在报名表内正确填写信息并提交，立即注册成功。

推荐参会人群

• 洁净室验证专家与运营经理

• 微污染控制工程师

• 空气分子污染物（AMC）专家

• 环境监测技术员

• 工艺集成工程师

• 设备工程师/工具工程师

• 晶圆厂工程师

• 晶圆工艺工程师

• 半导体制造工程师

• 计量工程师

• 良率提升工程师

• 应用工程师（洁净室或颗粒监测）

• 产品经理（纳米粒子检测工具）

• 技术营销工程师

• 现场服务工程师（CPC系统）

• 气体设备工程师

• 气体配送经理

• 大宗气体质量专家

• 压缩气体监测技术员

• 工艺控制与制造工艺工程师

• 质量保证工程师