德国Xiton公司推出两款新型Ixion-193深紫外窄线宽全固态激光器

德国Xiton公司在Ixion-193-SLM标准款的基础上，推出两款新型Ixion-193-SLM深紫外窄线宽全固态激光器。其中更高功率款的平均功率由10mW提升至50mW,更窄线宽款的激光线宽由标准款的线宽<80MHz（10fm),相干长度>2m; 提升至线宽<60MHz（10fm),相干长度>2.5m;

​Ixion-193-SLM激光器共同的特点：

- 使用超级简便：用户只需在图形化的软件界面上即可完成操作

- 可适应7天24小时工业化应用

- 窄线宽，长相干长度

- 标准输出193.368nm，下单前可提前定制190-195nm范围间任意波长值。

- 波长在10pm(80GHz)范围内可调谐

- 可增配内置波长计监测波长调谐的绝对值

产品规格

应用举例：

光谱仪校准：

Ixion-193-SLM标准款就已经很适合做193nm深紫外频段高分辨率光谱仪校准，下图为校准德国LTB高分辨率中阶梯光栅光谱仪的实测图

深紫外光刻：

Ixion-193-SLM-50的输出功率可达50mW, 可用于科研级别小尺度深紫外光刻;其光谱线宽<100MHz, 可有效降低深紫外光刻系统的色差导致的位置偏差，特别适合于浸没型高分辨率光刻，以及多次曝光套刻。

准分子激光器的种子注入：

用于产业级别高精细度半导体光刻制程时， Ixion-193-SLM可用于大功率准分子激光器的种子注入源，将自身的超窄线宽和超高功率稳定性传递给大功率准分子激光器，提升半导体光刻制程分辨率与良品率。

深紫外干涉与计量：

Ixion-193-SLM以其1.5-2.5m的长相干长度，很适合搭建193nm干涉系统和全息系统；193nm深紫外激光架构比266nm激光架构用于无图型半导体晶圆缺陷检测仪能做到更细微的缺陷监测极限；用于膜厚检测也可做到更精细的膜厚检测极限；可用于掩膜对准步进光学系统的校准。总之，Ixion-193-SLM可做为超精细半导体制程光刻系统或器件的研究与优化应用的光源。