聚焦第四代半导体｜Park 携FX200与FX300亮相行业盛会

  随着5G/6G通信、人工智能和新能源产业的快速发展，第四代半导体（如氧化镓（Ga?O?）、金刚石、氮化铝（AlN）等超宽禁带材料）因其更高的功率密度、耐高温特性及低能耗优势，成为全球半导体技术竞争的新焦点。2025年5月，帕克中国(Park Systems)成功参加了第一届第四代半导体技术研讨会，与众多行业专家、学者共同探讨了第四代半导体材料的最新研究成果、技术挑战及市场应用。

  在本次研讨会期间，Park Systems 将携 大型样品原子力显微镜 Park FX200 与 Park FX300 亮相现场，为第四代半导体材料研究与先进器件开发提供 纳米级高精度测量解决方案。

  原子力显微镜（AFM）作为纳米尺度表征的重要工具，可实现高分辨率三维表面形貌测量，广泛应用于半导体材料研究、纳米结构分析、表面粗糙度与缺陷表征等领域，在第四代半导体材料研发与工艺优化中发挥着关键作用。

  FX200/FX300专为200 mm/300 mm大尺寸晶圆样品研究设计，可实现稳定精准的纳米级测量，满足宽禁带半导体材料研究及先进器件开发的需求。

  在第二届第四代半导体技术研讨会期间，Park Systems将现场展示 FX200 与 FX300 的应用解决方案，并与行业专家、科研人员及合作伙伴深入交流 原子力显微技术在第四代半导体研究中的最新应用与发展趋势。

  我们诚挚邀请各位专家、学者及行业伙伴莅临展位参观交流，共同探讨第四代半导体材料与纳米计量技术的发展机遇。