气态分子污染物(AMC)已经成为影响半导体产品质量的重要因素，主要表现为表面分子污染，这是由气态分子和特定表面作用而形成非常薄的化学膜，化学膜通常改变产品表面的物理、电子、化学和光学特性而导致质量缺陷，造成产品良品率下降。
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