电子半导体行业如何做好AMC防控

来源：深圳市亿天净化技术有限公司      分类：商机 2023-12-25 13:51:09 40阅读次数

扫    码    分   享

气态分子污染物(AMC)已经成为影响半导体产品质量的重要因素，主要表现为表面分子污染，这是由气态分子和特定表面作用而形成非常薄的化学膜，化学膜通常改变产品表面的物理、电子、化学和光学特性而导致质量缺陷，造成产品良品率下降。

AMC种类复杂，根据SEMI发布的标准中将AMC分为四类:

1.酸性分子污染物：如HF、SO₂、CL₂等;

2.碱性分子污染物：如NH₃等;

3.有机化合物：如SiH₄，碳氢化合物等;

4.掺杂物：如磷（P)、硼(B）等。

AMC可能来源于无尘室外的汽车排气、大气臭氧、工厂排放等，或是洁净室内的化学溶剂挥发、蚀刻酸气、塑料制品溢散等，由于来源非常广泛，污染物种类繁多，因此如何进行有效防控已经成为行业的一大难题。 

考虑到内部和外部AMC污染源的浓度，半导体行业控制AMC需要从多方面来进行。

首先对生产环境进行评估，确定环境中的气态污染物种类和污染程度，然后定制污染控制方案，在新风处理机组（MAU）和风机过滤单元（FFU）上安装化学过滤器，达到多重去除AMC的效果，为了实时掌握AMC含量浓度，还需搭建AMC化学污染物在线监测系统，进行实时监测。

AMC化学污染物在线监测系统

半导体行业AMC控制是一项重要且复杂的任务，除了以上的控制措施，还应加强生产设备的维护和清洁，定期检查和更换可能引起AMC污染的部件，提高对AMC控制的认识、了解AMC的影响，知道如何正确操作和维护设备以减少AMC污染的可能性。

此外，建立规范的操作流程和标准，确保每个生产步骤都符合AMC控制的要求，来有效降低AMC的浓度，保证半导体制造过程的稳定性和产品质量的可靠性。

可以提供空气质量控制、检测、监测一站式综合服务，为电子半导体生产提供定制化的AMC解决方案，高效去除AMC，护航产品良率。

洁净技术应用综合解决方案提供商

400-888-7926 / 0755-27799805

参与评论

评论

登录后参与评论

登录

获取验证码

我已经阅读并接受《仪器网服务协议》

立即登录

推荐阅读

• 

  电子半导体行业如何做好AMC防控

  电子半导体行业如何做好AMC防控

  深圳市亿天净化技术有限公司 40

  2023-12-25

• 

  电子半导体行业AMC控制方案

  电子半导体行业AMC控制方案

  深圳市亿天净化技术有限公司 529

  2024-08-16

• 

  半导体行业AMC化学污染物在线监测解决方案

  半导体行业AMC化学污染物在线监测解决方案

  深圳市亿天净化技术有限公司 48

  2023-10-20

• 

  工信部发布《做好疫情防控期间通信行业网络安全保障工作的通知》

  切实做好疫情防控和经济社会运行的网络安全支撑保障工作，确保疫情防控期间网络基础设施安全，防止发生重大网络安全事件。

  892

  2020-02-24

  疫情防控 通信行业 网络安全保障

• 应对新型冠状病毒疫情 做好防控润扬仪器在行动！

  山东润扬仪器有限公司 231

  2020-03-14

• 

  国务院联防联控机制发文！做好冬春季重点传染病防控

  妥善防护，远离呼吸困扰。

  西安天隆科技有限公司 38

  2023-11-27

• 

  交通部：做好客运场站和交通运输工具新冠疫情防控工作

  按照国务院应对新冠肺炎疫情联防联控机制关于进一步落实分区分级差异化防控策略的要求，科学做好客运场站和交通运输工具疫情防控工作

  901

  2020-03-09

  客运场站 交通运输工具 疫情防控工作

• 

  生态部印发《做好疫情防控和经济社会发展生态环保工作》

  生态环境部把做好疫情防控相关环保工作作为一项重大政治任务和当前头等大事，出台实施医疗废物、医疗废水、应急监测、环评与辐射应急服务保障等文件

  1192

  2020-03-11

  疫情防控 经济社会发展 生态环保工作

• 上海净信：浅谈秋冬季非洲猪瘟如何防控

  上海净信实业发展有限公司 311

  2020-10-28

• 俄罗斯再现非洲猪瘟！非洲猪瘟该如何防控？

  欧罗拉生物科技有限公司 294

  2021-09-28

• 

  国务院联防联控机制引发《分区分级做好疫情防控工作的指导意见》

  依据《中华人民共和国传染病防治法》、《突发公共卫生事件应急条例》等法律法规，分区分级精准防控，统筹疫情防控与经济社会秩序恢复。

  778

  2020-02-24

  精准施策 分区分级 疫情防控

• 

  卫健委发布《做好新冠疫情防控全面有序开展预防接种工作》

  为指导各地根据疫情形势变化，安全、及时地开展预防接种，科学、有效做好疫苗针对传染病防控工作，现就当前形势下全面有序开展预防接种工作提出如下要求

  905

  2020-03-24

  疫情防控 预防接种工作

• 

  生态环境部开展新化学物质环境登记 防控新型污染物仪器行业如何抓住重点？

  从2021年至2024年，生态环境部已识别评估了566种具有较大环境和健康风险的新化学物质，并提出了相应的风险控制措施。这一举措表明政府对于源头防控新型污染物环境风险的高度重视。

  真ZHENG 46

  2024-10-24

  污染物防控

• 

  预制菜饱受争议，如何做好品控才能得到认可？

  预制菜饱受争议，如何做好品控才能得到认可？

  梅特勒-托利多国际贸易（上海）有限公司 89

  2023-10-07

• 

  青海出台省级药品标准管理工作工序加强相关管理 仪器行业如何做好标准管控

  仪器行业要加强自身产品的质量控制。产品是企业对话市场的直接方式，其质量好坏直接影响着企业形象和市场竞争力。因此，仪器制造商应如同对待艺术品一样对待自己的产品，精雕细琢，层层把关。

  423

  2024-03-26

  药品标准 管理 仪器行业发展 药品相关标准

• 

  直播预告 | 半导体行业电子气体金属杂质检测分析

  气体圈子携手珀金埃尔默（PerkinElmer）将于7月14日共同推出《电子气体中金属杂质检测分析》直播课程，由珀金埃尔默ICP-MS技术支持工程师徐俊俊老师主讲

  珀金埃尔默 309

  2022-07-13

  电子气体中金属杂质检测分析 半导体行业电子气体金属杂质检测分析

• 数码显微镜在电子半导体行业的应用案例分享

  基恩士（中国）有限公司 198

  2023-05-23

• 

  生态部发布《做好疫情防控期间有关建设项目环境影响评价应急服务保障的通知》

  坚决做好疫情防控期间有关建设项目环境影响评价应急服务保障。

  883

  2020-02-18

  疫情防控 环境影响评价 应急服务保障

• 

  卫健委发布《基层医疗卫生机构在疫情防控中分类精准做好工作》

  指导各地基层医疗卫生机构根据当前疫情防控形势发展的趋势变化，突出重点、统筹兼顾、分类施策，在基层新冠肺炎疫情防控中差异化、精准化推进工作，有效落实落细相关工作措施

  1089

  2020-03-08

  基层医疗卫生机构 疫情防控 分类精准

• 

  国务院：做好重点场所重点单位重点人群新冠疫情防控相关工作的通知

  结合当前疫情防控形势，为有效防止聚集性疫情的发生，落实分区分级防控要求，推进生产生活秩序逐步恢复，进一步做好重点场所、重点单位、重点人群的疫情防控工作，将疫情风险降到最低

  988

  2020-04-14

  重点场所 重点单位 重点人群 疫情防控