半导体行业AMC化学污染物在线监测解决方案

在半导体的生产过程中对于工艺制造环境要求严苛，任何微小的杂质，都可能引发生产故障，严重损害产品质量，特别是气态分子污染物(AMC)。因此，对气态分子污染物(AMC)在线监测，成为了半导体行业生产过程必不可少的一环。

但是，传统的分析方法往往需要非常耗时的采样和样品制备等过程，根本无法在短时间内提供结果，也就导致半导体工厂并不能及时有效进行干预。

系统可对洁净区域中的环境进行AMC监测，AMC监测器型号:ESKY-OGSMART，配合信号控制箱，监测服务器电脑，软件，多路采样器以及根据厂房的实际情况配全相应的数据线电源线等辅材，可实现环境中的AMC实时监测显示、存储、历史查看、图表分析等功能。

·通过ESKY-OGSMART 监测仪器对 AMC 腐蚀速度监测建立预警系统；

·通过采样分析，定制化学过滤器，通过再循环空气系统控制 AMC，变害为利；

·提供实时在线历史数据查看和数据图标趋势分析；

·集成液晶显示界面快速反馈和数据检索;

·远程控制，支持 TCP/IP 以及485 连接到现有上位机。

AMC化学污染物在线监测系统会对洁净室内部分区域AMC含量浓度等环境参数进行实时监测，实时掌握空气洁净度的变化趋势，以及任何一次超出控制的异常情况，才能让污染物在对工艺、产品可能产生不良影响之前就采取措施，清除可能的不良作业、污染源和污染事件。