预算340万元 复旦大学采购磁控溅射招标

近日，复旦大学磁控溅射采购进行国际公开招标，并于2024年12月12日 09点30分开标。

一、项目基本情况

项目编号：HW2024110702(1297-2444110782S8)

项目名称：复旦大学磁控溅射

采购需求：

磁控溅射采购1套，预算金额：340万元，限价：333.2万元。

简要技术规格：

★1.系统采用304不锈钢或更优材质圆柱体反应腔体，能适用于超高真空环境(真空度≤9×10-9Torr)，主腔室尺寸≤500mm高×400mm直径;

★2.腔体底部至少配置8个靶枪接口，至少8个2英寸(使用直径为2英寸的靶材)靶枪的靶位;能够预留不少于1个离轴溅射靶枪接口;

★3.主腔室配置抽速不低于1500l/s的低温泵组，极限真空度≤9×10-9 Torr;

合同履行期限：2026年3月31日前交付。交货地点：复旦大学江湾校区物理楼芯片与系统前沿技术研究院超净间。

本项目( 不接受 )联合体投标。

二、获取招标文件

时间：2024年11月19日 至 2024年11月27日，每天上午9:00至12:00，下午12:00至17:00。(北京时间，法定节假日除外)

方式：有兴趣的潜在投标人应于2024年11月19日起至2024年11月27日17:00止(北京时间)，通过复旦大学采购与招标管理系统(以下简称电子采购平台，网址为：https://cz.fudan.edu.cn)在线获取招标文件，逾期不再办理。潜在投标人可进入电子采购平台后在“正在进行的项目”版块中查看项目进入在线获取招标文件流程并下载电子招标文件，电子招标文件售价￥0.0元。未按规定合法获取招标文件的潜在投标人将不得参加投标。获取招标文件需上传的资料(加盖公章后的扫描件)：加盖公章的授权委托书扫描件和被委托人身份证复印件。

售价：￥0.0 元，本公告包含的招标文件售价总和

三、提交投标文件截止时间、开标时间和地点

开标时间：2024年12月12日 09点30分(北京时间);

地点：复旦大学采购与招标管理系统(网址：https://cz.fudan.edu.cn)。

四、对本次招标提出询问，请按以下方式联系。

1.采购人信息

名 称：复旦大学

地址：中国上海邯郸路220号

联系方式：李老师 021-65641292

2.采购代理机构信息

名 称：江苏省华采招标有限公司

地 址：上海市普陀区中山北路2130号17层

联系方式：刘翠红、倪莲蕾 021-52181959

3.项目联系方式

项目联系人：倪莲蕾

电 话：021-52181959