作为亚洲激光、光学、光电行业盛会，齐聚国内外行业知名企业，从元器件到系统集成方案，提供光电产业完整产品链展示平台。展会将继续秉持以科技创新为核心，勇于突破，不断创新，努力推动光电产业的转型升级，为全球光电产业的持续繁荣做出更大的贡献。
将参展慕尼黑上海光博会，期待与您现场探讨关于设备在半导体领域的应用，助力行业发展。
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会议时间：
2025年3月11日 - 13日
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展会地点：
上海·新国际博览中心
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展位布局：
展台 N2馆2729
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参展设备：
F50 膜厚测量仪 | ||
F50可以非常简单地获得最大直径450毫米的样品薄膜厚度分布图。采用r-θ 极坐标移动平台，可以快速定位所需的测试点并且实时获得测试厚度，大约每秒测试两点。 | ||
相关应用：半导体制造（光刻胶、氧化物/氮化物/SOI、晶圆背面研磨）；LCD 液晶显示器（聚酰亚胺、ITO 透明导电膜）；光学镀膜（硬涂层、抗反射层）；MEMS 微机电系统（光刻胶、硅系膜层）。 |
Profilm3D 白光干涉光学轮廓仪 | ||
Profilm3D 使用最先进的垂直干涉扫描 (WLI) 与高精度的相位干涉 (PSI) 技术。以强大的性价比实现次纳米级的表面形貌研究。 | ||
相关应用：粗糙度测量;三维形貌表征;台阶高度测量 |
FS-8 多波长椭偏仪 | ||
Film Sense FS-8多波长椭偏仪采用寿命长 LED 光源和非移动式部件椭偏探测器，可在操作简单的紧凑型椭偏仪中实现可靠地薄膜测量。 | ||
相关应用：二氧化硅和氮化物，高介电和低介电材料，非晶和多晶材料，硅薄膜，光刻胶。高和低指数薄膜，如 SiO2, TiO2, Ta2O5, MgF2 。TCO（如 ITO），非晶硅薄膜，有机薄膜（OLED 技术）等 |
MNi-450F 桌面式主动型隔振台 | ||
MNi-450F 桌面式主动型隔振台全新设计，易使用，优秀的隔振性能。全频段出色的抗振效果同时没有共振。 | ||
相关应用：SPM,AFM，台阶仪，光学轮廓仪，激光干涉仪，桌面型SEM，激光共聚焦显微镜，表面粗糙度仪，小型硬度计，电子天平，硬盘制造装置，微操作机器人，等精密装置 |
SEMI致力于促进中国半导体﹑平板显示﹑太阳能光伏、化合物半导体、智能交通、智能制造等产业的发展, 推动全球与国内产业界的交流与合作，呼吁产业人才培育（英才计划），推动研发创新，促进产业持续发展。
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展会时间：
2025年3月26日 - 28日
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展会地点：
上海·新国际博览中心
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展位布局：
展位号 N1-1343
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1 | SiC半导体中膜厚测量解决方案 |
2 | KLA探针式台阶仪的原理及应用 |
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