6月26-28日,2024第六届SEMI-e 深圳国际半导体技术暨应用展览会将在深圳国际会展中心(宝安新馆)举行。本次大会旨在为产业链的升级发展搭建供需精准对接、双向奔赴的平台,探索半导体行业发展新路径,共掘半导体行业新风口!
作为国产高端电镜代表厂商的将在本次大会现场展示聚焦离子束电子束双束显微镜DB500。诚邀相关领域专家老师莅临展位(6J12),指导交流!
聚焦离子束电子束双束显微镜DB500拥有自主可控的场发射电子镜筒和“承影”离子镜筒,是一款优雅全能的纳米分析和制样工具。高压隧道技术(SuperTunnel)、低像差无漏磁物镜设计,低电压高分辨率成像,保证纳米分析能力。“承影”离子镜筒采用液态镓离子源,拥有高稳定、高质量的离子束流,保证纳米加工能力。集成式的纳米机械手、气体注入器、电子物镜防污染机构,拥有24个扩展口,配置全面,自主可控,扩展性强,为您打造全能纳米分析和加工中心。
该产品可用于大规模集成电路的缺陷诊断、修补、离子注入、原位加工、掩膜版修理、刻蚀,集成电路设计修改,量子芯片器件制作,无掩膜加工,纳米结构制作,复杂纳米图形加工,材料的三维成像与分析、超灵敏表面分析、表面改性,以及透射电镜样品制备等方面。
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