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美国 KRI 射频离子源 RFICP 140
- 品牌:美国KRI
- 产地:美洲 美国
- 供应商报价:面议
- 伯东企业(上海)有限公司 更新时间:2024-07-17 15:03:36
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销售范围售全国
入驻年限第9年
营业执照已审核
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详细介绍
上海伯东代理美国考夫曼博士设立的考夫曼公司 KRI 射频离子源 RFICP 140 是一款紧凑的有栅网离子源, 离子束可选聚焦, 平行, 散射.
离子束流: >600 mA; 离子动能: 100-1200 V; 中和器: LFN 2000.
采用射频技术产生离子, 无需电离灯丝, 工艺时间更长, 更适合时间长的工艺要求. 提供高密度离子束, 满足高工艺需求.
离子源采用模块化设计, 方便清洁/ 保养/ 维修/ 安装.
非常适用于离子束溅射沉积, 离子辅助沉积和离子束刻蚀工艺.
伯东 KRI 射频离子源 RFICP 140 技术参数:
型号
RFICP 140
Discharge
RFICP 射频
离子束流
>600 mA
离子动能
100-1200 V
栅极直径
14 cm Φ
离子束
聚焦, 平行, 散射
流量
5-30 sccm
通气
Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他
典型压力
< 0.5m Torr
长度
24.6 cm
直径
24.6 cm
中和器
LFN 2000
伯东KRI 考夫曼离子源 RFICP 140 应用领域:
1.预清洗
2.表面改性
3.辅助镀膜(光学镀膜)IBAD,
4.溅镀和蒸发镀膜 PC
5.离子溅射沉积和多层结构 IBSD
6.离子蚀刻 IBE
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