晶圆/芯片微弱电流测试VI源表

在半导体和集成电路工艺中，材料、晶圆、芯片的测试是必不可少的环节。数字源表SMU具备源测功能，可以产生电流-电压(I-V)特性曲线，是半导体材料、器件电性能表征测量的核心。在测试时，通过数字源表提供激励并对测量信号进行采集，首先将电流或电压输入被测器件（DUT），测量该器件对此输入信号的响应；这些信号的路径为：源表的输出端接入电缆，电缆和探针连接，电流或电压信号通过探针至芯片。

普赛斯数字源表集电压源、电流源、电压表、电流表、电子负载功能于一体，支持四象限工作、微弱电流10pA输出测量、3500V高压下nA级测量、1000A脉冲大电流输出，全系列产品丰富，新推出更高精度、更大直流的SXXB系列高精度数字源表，相比于传统S系列源表，准确度提升至±0.03%，直流电流升级至3A，可为半导体行业提供更加晶准、稳定的测试方案；晶圆/芯片微弱电流测试VI源表认准普赛斯仪表

产品特点
5寸800*480触摸显示屏，全图形化操作           

内置强大的功能软件，加速用户完成测试，如LIV、PIV

源及测量的准确度为0.03%

四象限工作（源和肼），源及测量范围：高至300V，低至3pA

丰富的扫描模式，支持线性扫描、指数扫描及用户自定义扫描

支持USB存储，一键导出测试报告

支持多种通讯方式，RS-232、GPIB及以太网

技术参数

源限度-电压源：±10V（≤3A量程），±30V（≤1A量程），±300V（≤100mA量程）；

源限度-电流源：±3A（≤10V量程），±1A（≤30V量程），±100mA（≤300V量程）；

过量程： 105%量程，源和测量；

稳定负载电容：<22nF；

宽带噪声(20MHz)：2mV RMS（典型值），<20mV Vp-p（典型值）；

线缆保护电压：输出阻抗30KΩ，输出电压偏移<80mV；

蕞大采样速率：S系列1000 S/s，SXXB系列32000S/s;

触发：支持IO触发输入及输出，触发极性可配置；

输出接口：前后面板香蕉头插座输出，同一时刻只能用前或者后面板接口；

通信口：RS-232、GPIB、以太网；

电源：AC 100~240V 50/60Hz；

工作环境：25±10℃；

尺寸：106mm高 × 255mm宽 ×425mm长；

重量：5KG

质保期：1年

S系列源表应用

分立器件特性测试：电阻、二极管、发光二极管、齐纳二极管、PIN二极管、BJT三极管、MOSFET、SiC、GaN等器件；
能量与效率特性测试：LED/AMOLED、太阳能、电池、DC/DC转换器；
传感器特性测试：电阻率、霍尔效应等；
有机材料特性测试：电子墨水、印刷电子技术等；
纳米材料特性测试：石墨烯、纳米线等；
激光器特性测试：窄脉冲LIV测试系统；
功率器件：静态测试系统；
电流传感器：动静态参数测试系统；