-
-
KLA 纳米压痕仪 NanoFlip
- 品牌:美国KLA
- 型号: NanoFlip
- 产地:美国
- 供应商报价: 面议
- 北京中海远创材料科技有限公司 更新时间:2024-01-19 10:00:23
-
企业性质授权代理商
入驻年限第3年
营业执照已审核
- 同类产品纳米压痕(5件)
-
为您推荐
- KLA 纳米压痕仪 NanoFlip 核心参数
- 详细介绍
NanoFlip In SEM/FIB
KLA InSEM 系列可以和各个SEM和FIB厂商的主流型号联合工作,包括FEI、Jeol、Tescan、Zeiss 等等。
电磁力驱动载荷激发器
KLA 公司全系列的力学测试产品均采用电磁驱动原理的加载力激发器。对纳米压痕物理模型和最优线性特性的电磁力驱动原理的深刻理解,以及高灵敏度的三片式电容传感器的设计,保证全系列纳米力学产品在整个量程范围内均能得到高精准、高分辨的控制。
KLA InSEM 系列:超前的激发器的结构设计,完全实现载荷和位移的分别控制和探测,实现纳米压痕检测,包括动态力学测试、软材料测试、及薄膜测试等等。
InForce50 载荷激发器 载荷激发器
• zui大加载载荷: 50mN
• 纵向载荷分辨率: 3nN
• 压头zui大移动范围:45um
• 位移噪音背景: <0.01nm
• 位移数字分辨率: <0.002nm
InForce1000 载荷激发器 载荷激发器
• zui大加载载荷: 1000mN
• 纵向载荷分辨率: 6nN
• 压头zui大移动范围:80um
• 噪音背景: <0.1nm
• 位移数字分辨率: <0.004nm
NanoFlip 的样品台处于“Up”状态时,SEM/FIB 可以方便的观察样品和进行微区定位,当样品台处于“Down”状态时,SEM/FIB 又可以对整个力学实验过程进行实时观察并进行实时的视频捕捉。
数据采集 数据采集 ( (InQuest 控制器 控制器) )
业内响应时间zui快、数据采集率zui高的控制系统,完美实现
材料瞬间变化的捕捉:
• 数据zui高采集率:100kHz
• 控制器时间常数:20us
高精度的纳米马达台
• X 向zui大行程:20 mm
• Y 向zui大行程:20 mm
• Z 向zui大行程:25 mm
• Encoder X-Y-Z sensor resolution: 4 nm
横向加载控制
NanoFlip 可提供 Gemini 双子星选件,业内真正实现原位横向力和横向位移的直接测量,业内在纳米尺度上精准的实现多维度的磨损测试,实现多维度的动态力学
工作模式:
• 测量材料的摩擦系数或泊松比
• 精确的载荷、位移、动态响应在横向和纵向的控制
• 多维度的硬度、磨损、黏附性的精准测量
• 亚纳米级移动精度的样品台,实现精确定位
• 首次实现横向的纳米和纳牛级的准静态和动态测试
KLA 全系列的 InSEM 产品的动态测试附件是由连续刚度专利技术的发明人研发的:动态力学测试原理为在准静态加载过程中,施加在压头上一个正玄波,从而表征出随着压痕深度、载荷、时间或者频率的变化材料力学性能的变化:
• 动态激发频率:0.1Hz-1000Hz
• 单次动态力学测试可以代替>100 次静态力学测试结果
• 在微小的力和位移测试下提供超精准的动态力学测试
• 实现检测高分子材料的复合弹性模量
• 实现检测软材料蠕变性能
原位快速表面 表面 3D 力学 力学性能 性能 Mapping 功能
• 快速的样品表面硬度和杨氏模量的 Mapping 功能。
• 同时给出不同成分的力学结果的统计数据。
• 不受样品表面粗糙度和其它因素的影响
原位快速表面4D力学性能性能Mapping功能
KLA 的 NanoBlitz 4D 再次极大的扩展了 已经得到全行业认可的连续刚度测试功能( Continuous Stiffness
Measurement ) ,可以快速获取到样品硬度和杨氏模量在 XY向上的分布情况以及由表往里随样品压入深度的变化情况,
用户通过自定义恒应变速率,非常快速(7s/点)的对各种样品和复合材料进行力学研究,也可以应用于各种失效分析- 产品优势
- 可在常温下进行各种原位力学的压缩和拉伸实验,与 SEM/FIB/EDS / EBSD 等完美结合!
KLA InSEM 系列可以和全球各个SEM和FIB厂商的主流型号联合工作,包括FEI、Jeol、Tescan、Zeiss 等等。
KLA 公司全系列的力学测试产品均采用电磁驱动原理的加载力激发器。对纳米压痕物理模型和最优线性特性的电磁力驱动原理的深刻理解,以及高灵敏度的三片式电容传感器的设计,保证全系列纳米力学产品在整个量程范围内均能得到高精准、高分辨的控制。KLA InSEM 系列:先进的激发器的结构设计,完全实现载荷和位移的分别控制和探测,完美实现纳米压痕检测,包括动态力学测试、软材料测试、及薄膜测试等等。
InForce50 载荷激发器 载荷激发器
• 最大加载载荷: 50mN
• 纵向载荷分辨率: 3nN
• 压头最大移动范围:45um
• 位移噪音背景: <0.01nm
• 位移数字分辨率: <0.002nm
InForce1000 载荷激发器 载荷激发器
• 最大加载载荷: 1000mN
• 纵向载荷分辨率: 6nN
• 压头最大移动范围:80um
• 噪音背景: <0.1nm
• 位移数字分辨率: <0.004nm
NanoFlip 的样品台处于“Up”状态时,SEM/FIB 可以方便的观察样品和进行微区定位,当
样品台处于“Down”状态时,SEM/FIB 又可以对整个力学实验过程进行实时观察并进行实
时的视频捕捉
载荷范围: | 50mN/1000mN | 分辨率: | 3nN/6nN |
最大深度: | 45um/80um | 位移分辨率: | 0.002nm/0.004nm |