泰思肯（Tescan）MIRA通用分析型高分辨场发射扫描电镜

泰思肯（Tescan）MIRA通用分析型高分辨场发射扫描电镜

产品简介

TESCAN MIRA是推出的第四代高性能扫描电子显微镜，配置有高亮度肖特基场发射电子枪，在TESCAN的 Essence™ 操作软件的同一个窗口中实现了SEM成像和实时元素分析。这种结合简化了从样品中获取形貌和元素数据的过程，从而使得MIRA成为质量控制、失效分析和实验室常规材料检测的有效分析解决方案。

• 集成的 TESCAN Essence™ EDS功能，可以快速、轻松地从成像切换到元素分析操作。

• 实时电子束追踪技术(In-flight Beam Tracing™)功能，可设置优化束斑尺寸和束流强度。

• 大视野光路（Wide Field Optics™）设计，可实现最小放大倍率低至2倍，因而无需额外的光学导航相机，即可轻松、精确的对样品进行导航。

• 标配的 SingleVac™ 模式，不导电样品或电子束敏感样品无需喷镀即可在此模式下直接进行观察。 

• 可选配的镜筒内 SE 和 BSE 探测器，以及电子束减速技术，更好的提升了低电压下的成像性能。

•  标准分析平台，可选配集成最多种类的探测器和附件。

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