柔性引导高推动力扫描器
扫描范围: 15 µm (可选30 µm)
高度信号噪声等级: 30 pm
(RMS, 0.5 kHz带宽)
闭环控制的柔性引导XY扫描器
扫描范围: 50 µm × 50 µm
(可选10 µm × 10 µm 或 100 µm × 100 µm)
Z位移台行程范围 : 25 mm (Motorized)
聚焦样品台行程范围 : 15 mm (Motorized)
XY位移台行程范围 : 20 mm x 20 mm (Motorized)
样品尺寸: 最大开放空间为100 mm x 100 mm,厚度最大值为20 mm
样品重量 : < 500 g
10倍 (0.23 N.A.)超长工作距离镜头 (1µm分辨率)
样品表面和悬臂的直观同轴影像
视野 : 480 × 360 µm (带10倍物镜)
CCD : 100万像素, 500万像素 (可选)
AFM系统控制和数据采集的专用软件
智能模式的快速设置和简易成像
手动模式的高级使用和更精密的扫描控制
AFM数据分析软件
报价:面议
已咨询164次激光拉曼光谱仪( Raman )
报价:面议
已咨询163次原子力显微镜
报价:面议
已咨询665次拉曼光谱成像系统
报价:面议
已咨询174次原子力显微镜
报价:面议
已咨询666次量子钻石原子力显微镜
报价:面议
已咨询9019次原子力显微镜
报价:面议
已咨询184次原子力显微镜
报价:面议
已咨询1662次原子力显微镜
Park NX-Hivac通过为失效分析工程师提供高真空环境来提高测量敏感度以及原子力显微镜测量的可重复性。与一般环境或干燥N2条件相比,高真空测量具有准确度好、可重复性好及针尖和样本损伤低等优点。
高精度探针针尖变量的亚埃米级表面粗糙度测量,晶圆的表面粗糙度对于确定半导体器件的性能是至关重要的,对于先进的元件制造商,芯片制造商和晶圆供应商都要求对晶圆商超平坦表面进行更精确的粗糙度控制。
对于工程师来说,识别介质/平面基底的纳米级缺陷的任务是一个非常耗时的过程,Park NX-HDM原子力显微镜系统可以自动缺陷识别,通过与各种光学仪器的联用可以提高缺陷检测效率。
Park Systems推出NX-3DM全自动原子力显微镜系统,专为垂悬轮廓、高分辨率侧壁成像和临界角的测量而设计。
CSI是一家法国科学设备制造商,拥有专业的AFM设计概念,以及为现有的AFM提供设计选项。它避免了激光对准需要预先定位针尖的系统,针尖/样品的顶部和侧视图,结合垂直的马达控制系统,使预先趋近更加容易。
EM-AFM可在SEM中同时提供原子力显微镜成像和纳米机械测量。它综合了这两种技术的优点,可高速获得高分辨率的三维图像,并且在微纳米和亚纳米尺度上实时观察纳米级力的相互作用,与常规SEM/FIB兼容,