深能级瞬态谱仪

※ 主要应用于半导体、宽禁带半导体材料中的缺陷、杂质浓 度及界面态（俘获界面）研究。 

※ 高灵敏性，Nt/Nd<1*10 。 

※ 样品电容测试范围广，1pF-100nF，便于样品制备。 

※ 测试温度范围广，25K-700K，含液氦循环制冷。 

※ 多种测量模式兼容，DLTS、DDLTS、ODLTS、CTS、 IV/IVT、CVT等模式。 

※ 高性价比，适宜各种应用需求。 ※ 低损伤和污染。