9成新 布鲁克(探针）台阶仪Dektak150

​针轮廓技术创新于一身，该系统在行业内的表现，以重现性佳和标准扫描范围大而著称。它提供各种各样的配置和附加选项，用于程序化测量、低探针力表征和细节分析

台阶仪Dektak 150 表面轮廓仪（探针式）
规格：
测试技术：探针轮廓技术
测试功能：二维表面轮廓测试
样品视场：640*480像素，USB；17 inc 平板显示器
探针传感器：低惯量传感器（LIS 3）
探针压力：使用LIS 3传感器：1至15 mg
使用N-lite传感器：0.03至15 mg
探针选项：探针曲率半径可选范围：50 nm至25 um;
高径比针尖：10 um * 2 um 和200 um*20 um
样品载物台：手动X/Y/@：100*100 mm, 360度旋转，可手动校平；
可选Y自动移动载物台，100 mm行程，1um重现性，0.5 um分辨率；
可选X-Y自动移动载物台，150 mm行程；
1um重现率，0.5 um 分辨率
计算机系统：主机使用celeron或者semprom处理器
软件：Dektak软件
台阶检测软件
可选应力测量软件
可选三维Vision分析软件
可选缝合软件
减震装置：可选桌式震动隔离装置
可选台式震动隔离装置
性能
扫描长度范围 55mm(2.1英寸)
每次扫描数据点多12万数据点
大样品厚度高达90 mm (4英寸)，取决于配置
大晶圆尺寸 150 mm(6英寸)
台阶高度重现性 6埃
垂直范围：标准524um(0.02英寸)；可选1mm
垂直分辨率：大1A（6.55um垂直范围下）
尺寸：292 mm *508 mm*527 mm
重量：34 kg
电源要求：
输入电压： 100-120VAC/200-240VAC, 50-60 HZ

无论是用于科学研究还是工业生产，

详细技术要求及参数：
• 测量重复性 6Å，1δ (10000 Å 标准台阶)。
Step height repeatability6 Angstroms, 1 sigma (1,0000 angstrom step).
• 大扫描长度 55mm，用于测量弯曲度和波度。
Maximum scan length = 55mm, for measuring curvature and waviness.
• 配有快速更换探针附件。
Quick-change stylus removal with stylus coupled to the sensor head magnetically using
kinematic mounts and special stylus removal fixture.
• 低噪音线性 LVDT 传感器，保证 Z 轴方向高分辨率测量。
Linear LVDT sensor for low noise, high resolution Z-axis measurements
• 电磁探针压力调整系统，不管探针在何垂直位置都可保证探针压力不变。
Electromagnetic stylus force adjustment mechanism to ensure stylus force is constant
irrespective of the vertical position of the stylus.

线性扫描——基于精确光学平面的样品台——提供了优越的基线稳定性，消除了几何测量误差。
Linear scan method – precision scan stage with optically flat reference – provides
excellent baseline stability, free of geometric measurement errors.
& 精确 6 英寸样品台（X-Y-Theta 手动定位）
Precision 6” sample stage with manual X-Y-Theta position adjustment
& 台阶检测功能，可自动测试多重台阶。
Step Detection feature for automatically measuring multiple steps
&彩色摄影镜头（放大倍数 166x 并配有视频图象自动捕捉功能），为报告和演讲提供丰富的图形数据。
Color video camera standard with 166x zoom magnification with video image capture
feature for use in reports and presentations.
&视频观测功能使探针在整个扫描过程中均处在观察中，保证了扫描数据和视频图象的相互关联。
Video overlay feature where stylus stays in view throughout entire scan. Ensures direct
correlation between scan data and video of sample
&大于 4 英寸的样品空间可确保大样品的测量。
Up to 4” sample clearance for larger samples
& 多扫描程序具有生成标准统计报告，用以计算标准偏差和平均值等结果。

Multi-scan program recipe capability standard with statistical report generating software
to calculate standard deviation and mean.
&软件有 30 种分析功能,包括程控数据过滤等，从而得到精确的粗糙度和波度结果。
30 Analytical functions built-in, including programmable cut-off filters for accurate
roughness and waviness calculations
& 低惯性感应器技术的应用可以把探针压力调整到 1mg，从而使出众的表面表征能力
得以实现。
Low inertia sensor technology to allow superior surface tracking with low stylus forces
down to 1 mg.
& 标准垂直测量范围 524um(1 mm可选择)
Standard 524 μm maximum vertical range (1mm optional)
• 数据采样点可达 120,000/扫描
Acquire up to 120,000 data points per scan
& 3/8”厚的环境环境罩, 可消除静电和电磁干扰。