TESCAN 超高分辨场发射扫描电子显微镜CLARA

主要特点

• 独特的镜筒内 BSE 探测器设计可以根据能量和角度不同选择信号
  镜筒内 BSE 探测器所安装的特殊位置使得它可以同时采集不同 “出射”角度的背散射电子（BSE）。 Axial BSE 探测器收集近轴背散射电子信号，而 Multidetector（BSE）则收集中角背散射电子信号， 这两个信号是明显不同的。 通过 Axial BSE 探测器我们可以抑制不希望看到的由于样品的表面形貌引起的干扰，从而观察到最佳的材料成分衬度。 相比之下，Multidetector（BSE）收集中角背散射电子，获得既有成分衬度又有形貌衬度的图像，但更凸显表面形貌的特点。 Multidetector 配有一个能量过滤器，可以实现二次电子信号和背散射电子信号的能量过滤，以便增强背散射电子的衬度。

• 电子束敏感样品和非导电样品的理想选择
  镜筒和探测器系统的一体设计，无需施加样品减速偏压，即可实现电子束 50 eV 的低着陆能量，避免了样品产生损伤和荷电效应，并实现出色的成像性能，是观察各种不导电样品的理想选择。

• 电子束的快速设置 – 实现最佳的成像和分析条件
  EquiPower™ 透镜技术可实现高效的散热并保证电子镜筒的稳定性。同时结合使用了实时电子束实时优化技术，使 TESCAN CLARA 能够在全部束流范围下获得优异的高分辨率图像和（EDS / EBSD）分析能力。

主要应用

材料科学

生命科学

地球科学