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LED 显微曝光系统
- 品牌:台湾景鸿
- 型号: UTA 系列
- 产地:新北
- 供应商报价: 面议
- 无锡浩辉者新材料科技有限公司 更新时间:2024-03-07 14:32:33
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企业性质生产商
入驻年限第2年
营业执照已审核
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- 详细介绍
介绍:
1)显微镜 LED曝光系统 UTA系列,为不需使用光罩即可以完成Pattern曝光的投影式曝光设备。
2)使用金相显微镜和 LED 光源 DLP 光机,即可在涂布光阻的基板上进行数个微米 分辨率的曝光。
3)Pattern 形状可以使用计算机绘图自由制作。
4)可在一般环境操作,样品外观及尺寸限制小,价格比一般电子束曝光机更便宜、方便性更高,可以大幅降低研发成本。
使用案例:
形成薄膜 FET 以及 Hole 效果量测用试料之电极。
Mo 原石取出薄片,形成原石特性评估的电极。
特色:
·使用显微镜和 DLP 组合之曝光系统,可比既有系统拥有更具竞争性之价格。
·软件操作简便,可以自由绘制曝光Pattern。
·透过物镜倍率选择,调整曝光范围大小与分辨率。
·可以制造微米等级尺寸的 Pattern 。
仪器分类: | 其它 |
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