Park XE15多功能原子力显微镜

Park XE15具有众多的独特功能，是处理多种样品的共享实验室、进行多变量实验的研究院以及晶片故障分析工程师的选择。同时，合理的价格和稳健的功能使之成为业内最***的大型样品原子力显微镜之一。

Park XE15 MultiSample scan system

·       一次性自动多样品成像

·       特别设计的多样品卡盘，可装载多达XY轴样品台，行程范围达MultiSample?扫描模式能够允许用户自行编程，借助自动化步进扫描，实现多区域成像。

流程如下：

1.记录用户定义的多个扫描位置

2.在***个扫描位置成像

3.提升悬臂

4.将电动样品台移至下一个用户定义坐标

5.探针接近

6.重复扫描

记录多个扫描位置十分简单，您可以输入样品 

Park Systems的***串扰消除XY轴位置，并通过压电叠堆传动装置专门扫描探针悬臂的XY轴扫描的柔性平台采用了固体铝材，其具有***的正交性和***平面外运动轨迹。柔性平台可在1 kg左右），频率达XY轴的带宽要求远低于Z轴扫描的压电叠堆传动装置具有大的推拉力和高共振频率（约10 kHz）。