Park NX10 为您带来纳米级分辨率的数据,值得您信赖、使用和拥有。
在 SmartScan Auto 有的智能模式下,系统自动执行所有必要的成像操作,同时智能选择好的图像质量和扫描速度。这是通过Park的技术才得以实现的。它不仅可以为您节省时间和金钱,还可以给您带来优质的研究结果。

Park NX10是非接触式原子力显微镜,在延长探针使用寿命的同时,还能良好地保护您的样品不受损坏。可弯曲的立 XY 扫描仪和Z扫描仪可带来良好的分辨率。
Park 原子力显微镜具有综合性的扫描模式,因此您可以有效地收集各种数据类型。从使用世界上的真非接触模式用来保持探针的尖锐度和样品的完整性,到先进的磁力显微镜, Park 在原子力显微镜领域为您提供创新模式.
产品特点
1)Smartscan智能扫描模式,“1,2,3”点击即可实现成像
2)Pinpoint Nanomechanical力控出图模式,更优越的力学形貌成像及各种电学测试
3)强大的内置集成软件系统,自带LFM/液相AFM/MFM/EFM/KPFM/Force Curve软件模式

基本技术特点
a) 扫描范围是 50μm x 50μm的 2D 扫描器,驱动 XY 轴样品台
b) 高速Z轴扫描器,扫描范围 15μm
c) 低噪声 XYZ 位置传感器(低噪声XY闭环扫描可将正向扫描和反向扫描间隙降至扫描范围的 0.15% 以下)
d) 自动步进扫描,滑动嵌入 SLD 镜头的自主固定方式,
e) 垂直调节驱动 Z 平台和聚焦平台
选项/模式
标准成像 | 化学性能 | 介电/压电性能 |
实际非接触式 接触式 侧向摩擦力显微技术(LFM) 相位模式,轻敲模式 Pinpoint成像 | 功能化探针的化学力显微镜 电化学显微镜(EC-STM和EC-AFM) | (EFM)静电力显微镜 动态接触式电子显微镜(EFM-DC) (PFM)压电力显微镜 高电压PFM |
力测量 | 磁性能 | 热性能 |
力-距离(F-D)光谱 力谱成像 | 磁力显微镜 可调AFM | 扫描热显微镜(SThM) |
电性能 | 机械性能 | |
Pinpoint 导电AFM(CP-AFM) I-V谱线 扫描开尔文探针显微镜(KPFM) QuickStep扫描电容显微镜(SCM) 扫描电阻显微镜(SSRM) | 扫描隧道显微镜(STM) 扫描隧道光谱(STS) 光电流测绘(PCM) SICMcurrent-distance(I/d)Spectroscopy | Pinpoint模式 力调制显微镜(FMM) 压痕,纳米刻蚀 高压纳米刻蚀 纳米操纵 |
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Park NX-Hivac通过为失效分析工程师提供高真空环境来提高测量敏感度以及原子力显微镜测量的可重复性。与一般环境或干燥N2条件相比,高真空测量具有准确度好、可重复性好及针尖和样本损伤低等优点。
高精度探针针尖变量的亚埃米级表面粗糙度测量,晶圆的表面粗糙度对于确定半导体器件的性能是至关重要的,对于先进的元件制造商,芯片制造商和晶圆供应商都要求对晶圆商超平坦表面进行更精确的粗糙度控制。
对于工程师来说,识别介质/平面基底的纳米级缺陷的任务是一个非常耗时的过程,Park NX-HDM原子力显微镜系统可以自动缺陷识别,通过与各种光学仪器的联用可以提高缺陷检测效率。
Park Systems推出NX-3DM全自动原子力显微镜系统,专为垂悬轮廓、高分辨率侧壁成像和临界角的测量而设计。
CSI是一家法国科学设备制造商,拥有专业的AFM设计概念,以及为现有的AFM提供设计选项。它避免了激光对准需要预先定位针尖的系统,针尖/样品的顶部和侧视图,结合垂直的马达控制系统,使预先趋近更加容易。
EM-AFM可在SEM中同时提供原子力显微镜成像和纳米机械测量。它综合了这两种技术的优点,可高速获得高分辨率的三维图像,并且在微纳米和亚纳米尺度上实时观察纳米级力的相互作用,与常规SEM/FIB兼容,
德国Attocube 磁共振显微镜/低温强磁场磁共振显微镜attoCSFM,集成了由完全无磁性材料制备的高数值孔径(NA)共聚焦显微镜与原子力显微镜来满足ODMR实验的需求。
纳米尺度下的磁学图像对于研究磁性材料和超导样品是非常重要的,利用attocube公司attoAFM/attoMFM/atoSHPM系统,科学家可以在无以伦比的空间分辨率(20nm)和磁场敏感性下分析样品磁性,工作温度从极低温、强磁场到室温。