日立新型双束系统 NX2000

产品简介

日立新型双束系统 NX2000

NX2000新型双束系统（超高精密聚焦离子束FIB和高分辨场发射电镜FE-SEM），具有高效率的样品制备能力、高精度纳米微加工能力和高分辨图像观察能力。新的低损伤加工技术可以很好的满足感光材料和电子束曝光应用的需求；而新开发的微样品取样、样品装载和样品导航功能则进一步提高了分析效果。

主要特点：

1.高分辨成像，高衬度成像分辨率：二次电子（3.5nm@1kV），二次离子（4nm@30kV），

2.可实时观察加工过程

3.全自动TEM样品制备

4.高精度加工

5.大样品仓

6 可选多种气体注入

应用领域：

1.纳米材料微加工

2.半导体及电子元器件材料

3.生命科学