椭圆偏光技术是一种非接触式、非破坏性,以光学技术测量表面薄膜特性的方法。当一束偏振光经过物体表面或界面时,其偏振极化状态会被改变。而椭偏仪就是通过探测样品表面的反射光,来测量此改变(即反射光和入射光的振幅及相位的改变量),以决定表面薄膜的光学常数(n,k 值)及膜厚。
SpecEL 光谱式椭偏仪系统组成
宽光谱光源,导光器件,起偏器,样品台,检偏器,增强光学元件和微型线阵列CCD 光谱仪,测量软件。

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深圳浦东雄安YOLO椭偏仪价格本公司尧零智能仪器根据教学大纲要求自主研发的固定波长激光椭圆偏振仪用于大学近代物理实验,仪器集光、机、电于一体,操作简单,性能稳定,可无接触、无损伤精确测定超薄薄膜厚度。
high speed film thickness system measures routinely in less than a second! Tilt-free, focus free, hands-off operation for similar wafers. Fastest possible instrument for thin film measurement.