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SU3800钨灯丝扫描电镜

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详细介绍

日立全新一代高分辨钨灯丝扫描电镜SU3800采用全新的HexBias偏压技术,使其低电压性能大大提升,同时升级的高灵敏度背散射探测器和可变压力探测器使得SU3800的观察能力进一步提升。SU3800还增加了IFT灯丝监控技术、全新的光镜导航、集成的能谱以及报告导出等功能,使其操作也变得更为简单。

主要特点:  

  • HexBias偏压钨灯丝电子枪;  

  • 优异的高、低电压性能; 

  • 高灵敏度五分割背散射电子探测器;  

  • 可变压力二次电子探测器(高、低真空可用);  

  • 全新的操作界面和光镜导航功能;  

  • 全自动灯丝设定和合轴;  

  • 报告导出和图片处理;  

  • 可集成的EDS;  

  • 简单方便的维护(灯丝更换视频); 

应用领域: 材料科学、生命医学、食品卫生、半导体电子元器件、汽车制造等。


主要参数:

​电子枪

预对中钨灯丝

加速电压

0.3kV – 30kV

分辨率

3.0nm@30kV (SE)

15.0nm@1kV (SE)

4.0nm@30kV (BSE, LV)

放大倍率

5x – 300,000x(底片倍率)

7x – 800,000x(显示器倍率)

探测器

二次电子探测器,高灵敏度无分割背散射电子探测器

可变压力探测器UVD 2.0*

低真空可变压力范围

6 – 650Pa

样品台(三轴马达)

X: 0 - 100 mm

Y: 0 – 40 mm

Z: 5 – 65 mm

R: 0 – 360°

T: -20° - +90°

*选配


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