ESS RearTorr-S气体分析质谱仪

ESS RearTorr-S气体分析质谱仪是duyi无二的真正的对整个工艺过程提供监控。特殊的进口阀由直接反馈控制方式调节；与过程压力无关，进口阀自动调节，使质谱系统的压力值在所有时间内保持恒定。由占地小，ESS RearTorr-S气体分析质谱仪在洁净实验室是非常有效的解决方案。仪器的核心是一个非常灵敏的四极杆质谱仪，它装备了一个增强型的密封的离子源，检出限达到ppb级，具有极好的稳定性和快速反应时间。系统的设计进一步加强了ESS的可靠性。

紧凑的设计意味着该系统可以直接安装在加工工具上，所以可以满足真实的监控条件，还有一个功能强大的、易于使用的软件包来操作和控制质谱系统。该软件包已经被专门设计用于处理工具应用程序，并允许用户单独选择操作模式，用于特定的流程应用程序。reactorr-s将节省时间和金钱，大大提高你的应用的完整过程。

ESS RearTorr-S气体分析质谱仪半导体工艺过程中监测

? Vacuum Monitoring真空监测

? CVDCVD监测

? Baseline RGA基线残气检测

? Outgassing of Wafer除晶片

? Ion Implant离子导入

? Etch刻蚀

? Transfer Chamber monitoring

? Pump-down profile monitoring

? Leak Testing渗漏测试

? Process Gas Purity工艺气提纯度检测