伯东公司德国普发Pfeiffer分子泵
Pfeiffer Hipace30普发涡轮分子泵
德国普发Pfeiffer 多功能 氦质谱检漏仪ASM 340
德国普发分子泵 Hipace10-800
德国普发分子泵 SplitFlow
因产品配置不同, 价格货期需要电议, 图片仅供参考, 一切以实际成交合同为准
Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace 80
上海伯东销售维修德国普发涡轮分子泵 Pfeiffer HiPace 80 抽速可达到 71 l/s 高性能涡轮分子泵. HiPace 80 对所有气体的高抽速和更高压缩比使其广泛应用于真空行业. 集成驱动电路, 适用于工业环境, 通过保护等级 IP54, 半导体 S2, UL / CSA 认证. 通过控制器监控运算数据尽可能保证分子泵的安全性. 涡轮分子泵 HiPace 80 可以任意位置安装. 自然风冷, 多种配件可选满足广泛应用.
涡轮分子泵 HiPace 80 特性
稳健性工业设计和经过实践证明的高可靠性分子泵轴承系统
结构紧凑, 满足更小的安装空间要求
分子泵高气流量和高抽速
基本款任意角度安装
防护等级 IP 54, 符合工业环境要求
可应用于腐蚀性气体工艺
分子泵通过 SEMI S2 和 UL 认证
涡轮分子泵 HiPace 80 技术参数
进气口 | DN 63 ISO-K | DN 63 CF-F | DN 40 ISO-KF | DN 63 ISO-K | DN 63 CF-F | DN 40 ISO-KF | |
图片 |
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分子泵控制器 | 型号 | 标配 | 标配 | 标配 | 选配 | 选配 | 选配 |
抽速 | Ar L/S | 66 | 66 | 30 | 66 | 66 | 30 |
H2 L/S | 48 | 48 | 38 | 48 | 48 | 38 | |
He L/S | 58 | 58 | 41 | 58 | 58 | 41 | |
N2 L/S | 67 | 67 | 35 | 67 | 67 | 35 | |
压缩比 | Ar | 1X1011 | 1X1011 | 1X1011 | 1X1011 | 1X1011 | 1X1011 |
H2 | 1.4X105 | 1.4X105 | 1.4X105 | 1.4X105 | 1.4X105 | 1.4X105 | |
He | 1.3X107 | 1.3X107 | 1.3X107 | 1.3X107 | 1.3X107 | 1.3X107 | |
N2 | 1X1011 | 1X1011 | 1X1011 | 1X1011 | 1X1011 | 1X1011 | |
全转速时气体流量 | Ar hPa l/s | 0.54 | 0.54 | 0.54 | 0.54 | 0.54 | 0.54 |
H2 hPa l/s | 15.3 | 15.3 | 15.3 | 15.3 | 15.3 | 15.3 | |
He hPa l/s | 2.7 | 2.7 | 2.7 | 2.7 | 2.7 | 2.7 | |
N2 hPa l/s | 1.3 | 1.3 | 1.3 | 1.3 | 1.3 | 1.3 | |
极限压力 | hPa | <1X10-7 | <5X10-10 | <1X10-7 | <1x10-7 | <5x10-10 | <1x10-7 |
大预抽真空 | N2 | 22 | 22 | 22 | 22 | 22 | 22 |
电压 | VDC | 24 | 24 | 24 | 24 | 24 | 24 |
大电流 | A | 4.6 | 4.6 | 4.6 | 5.5 | 4.6 | 4.6 |
转速± 2 % | RPM | 90000 | 90000 | 90000 | 90000 | 90000 | 90000 |
声噪 | dB(A) | ≤48 | ≤48 | ≤48 | ≤48 | ≤48 | ≤48 |
允许大磁场 | mT | 3.3 | 3.3 | 3.3 | 3.3 | 3.3 | 3.3 |
启动时间 | min | 1.7 | 1.7 | 1.7 | 3 | 3 | 3 |
重量 | kg | 2.4 | 3.8 | 2.4 | 2.1 | 3.5 | 2.1 |
* 控制器选择 TCP 350, 可以使分子泵在辐射环境中使用


Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace 80 套装:
上海伯东提供完整的分子泵套装供您选择, 包含一台 HiPace 80 分子泵主机和控制电源等, 分子泵套装满足基本的应用, 可以安装在所有情况下并轻松调试涡轮分子泵. 套装内配置如下:
分子泵 | 分子泵电源与控制器连接线 | 风扇 | OmniControl 200 | 接口电缆, M12 m 直型/M12 m 直型,3 m |
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| 接口电缆, M12 m 直型/M12 m 直型,3 m |
分子泵应用 HiPace 80
分析仪器: 电子显微镜, 检漏, 小型质谱, 表面分析, 残余气体分析
半导体: PVD, inspection, bonding, MBE, load-locks
工业: 医学技术, 工业检漏, 隔离真空, 灯管制造
研发: 核研究, 等离子研究, 粒子加速器, 冷冻研究, 纳米技术, 生物技术
上海伯东客户分子泵应用一:HiPace 80, HiPace 400 用于分子束外延 MBE, 主要针对金属薄膜及材料器件的氧化物外延生长.
上海伯东客户分子泵应用二:HiPace 80, HiPace 300 用于SPECS 近常压光电子能谱仪设备
上海伯东客户分子泵应用三: HiPace 80, HiPace 300 用于自主搭建真空腔体
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上海伯东 Pfeiffer 涡轮分子泵抽速范围 10 至 2700 L/S, 转速高 90,000 rpm, 极限真空大 1E-11 mbar, 对小分子气体具有更高的压缩比, 实践证明 Pfeiffer 涡轮分子泵运行时间可以达到 100,000 小时! 普发分子泵提供复合轴承分子泵和五轴全磁浮分子泵二大系列满足不同应用, 推荐搭配 Pfeiffer 旋片泵和干泵共同使用. 推荐分子泵典型应用 >>
若您需要进一步的了解分子泵详细信息, 请参考以下联络方式
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润滑油
伯东公司日本原装设计制造离子蚀刻机 IBE. 提供微米级刻蚀, 均匀性: ≤±5%, 满足所有材料的刻蚀, 即使对磁性材料, 黄金 Au, 铂 Pt, 合金等金属及复合半导体材料, 这些难刻蚀的材料也能提供蚀刻. 可用于反应离子刻蚀 RIE 不能很好刻蚀的材料
伯东公司日本原装进口小型离子蚀刻机, 适用于科研院所, 实验室研究, 干式制程的微细加工装置, 特别适用于磁性材料, 金, 铂及各种合金的铣削加工.
伯东公司日本原装进口小型离子蚀刻机, 适用于科研院所, 实验室研究, 干式制程的微细加工装置, 特别适用于磁性材料, 金, 铂及各种合金的铣削加工.
上海伯东日本原装进口适合小规模量产使用和实验室研究的离子蚀刻机, 一般通氩气 Ar, 内部使用美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 40 产生轰击离子; 终点检出器采用 Pfeiffer 残余质谱监测当前气体成分, 判断刻蚀情况.
Aston™ 特性 实时过程控制的通用工具, 耐腐蚀性气体, 抗冷凝 半导体制造的分子分析原位平台, 提供实时, 可操作的数据 采用等离子体电离源, 无灯丝, 更耐用 可与大批量生产工具完全集成 Aston™ 作为一个强大的平台, 可以取代多种传统工具, 提供前所未有的控制水平, 包括光刻, 电介质和导电蚀刻及沉积, 腔室清洁, 腔室匹配和消解.
氦质谱检漏仪 ASM 340 优点 1. 前级泵配备旋片泵(油泵)Adixen Pascal 1015 I 抽速高达15 m3/h 2. 分流式分子泵 Pfeiffer Splitflow 50 对氦气抽速 2.5 l/s 3. 氦质谱检漏仪 ASM 340 对氦气的Z小检测漏率: 真空模式: 5E-13 Pa m3/s 吸枪模式: 5E-10 Pa m3/s 目前业界公认Z小漏律 4. 移动式操作面板(有线, 无线) 5. 集成 SD卡, 方便资料处理 6. 抗破大气, 抗震动, 降低由操作失误带来的风险性 7. 丰富的可选配件, 如吸枪, 遥控器, 小推车, 旁路装置, 标准漏孔等 8. 检测时间短
氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 优势: 1. 强大的抽空能力 2. 极短的测试时间, 3. 大尺寸彩色触摸屏, 无需任何工具即可完全旋转和拆卸 4. 符合人体工学设计, 移动性强 5. 通过 CE 认证, ETL 认证, UL61010 合规, 完全符合 Semi S2 标准 6. 可用于半导体相关行业和平板显示器行业以及其他要求极高的应用