德国普发Pfeiffer气体质谱分析仪OmniStar
德国普发Pfeiffer 多功能 氦质谱检漏仪ASM 340
伯东公司德国普发Pfeiffer气体质谱仪
伯东公司德国普发Pfeiffer真空镀膜机
PFEIFFER 普发PKR251真空计
残余气体分析质谱仪PrismaPlus--四级杆质谱分析仪
上海伯东代理德国 Pfeiffer 残余气体质谱QMG系列,模块化设计,质量数范围 1-100 amu、1-200 amu 和 1-300 amu。内置四极分析仪、四极电子装置、电源件和Quadera 软件。残余气体质谱QMG系列离子源配备两组灯丝,适用于多种测量用途,使用寿命长。
Pfeiffer 四极质谱仪PrismaPlus 主要优势:
1. 模组化设计提供了产品**的适应性
2. 结构紧凑,性能出众
3. 多种介面,系统集成简单
4. 可通过乙太网网路化
5. 测试过程快速稳定,解析度高
6. 分析器以及电子的可替换性
7. 双灯丝设计保证最大的可靠性
8. zuidi的可检测分压达1 x 10E-14 mbar
9. 配置Quadera软体,操作直观
残余气体分析仪PrismaPlus 技术参数:
型号 | QMG 220 F1 | QMG 220 F2 | QMG 220 F3 | QMG 220 M1 | QMG 220 M2 | QMG 220 M3 | ||||
检测器 | 法拉第 Faraday (F) | 电子倍增器/法拉第 C-SEM/Faraday (M) | ||||||||
质量数 amu | 1100 | 1200 | 1300 | 1100 | 1200 | 1300 | ||||
四极杆直径/长度 | 6/100 mm | |||||||||
最小检测极限 F mbar | 1X10-12 | 2X10-12 | 4X10-12 | 5X10-12 | 1X10-11 | 2X10-11 | ||||
最小检测极限 M mbar | - | - | - | 1X10-14 | < 2X10-14 | < 4X10-14 | ||||
对Ar的灵敏度 F A/mbar | 1X10-3 | 6X10-4 | 3X10-4 | 5X10-4 | 3X10-4 | 1.5X10-4 | ||||
对Ar的灵敏度 M A/mbar | - | - | - | 200 | 200 | 100 | ||||
最大工作压力 F | 1X10-4 mbar | |||||||||
最大工作压力 M mbar | - | - | - | 1X10-5 | 1X10-5 | 1X10-5 | ||||
对临近质量数的影响 | < 10 ppm | < 20 ppm | < 50 ppm | < 10 ppm | < 20 ppm | < 50 ppm | ||||
操作温度 F | 150 °C | |||||||||
烘烤温度 F | 200 °C / 300 °C | |||||||||
连接法兰 | DN 40 CF-F | |||||||||
重量 | 2.4 kg | 2.4 kg | 2.4 kg | 3.8 kg | 3.8 kg | 3.8 kg | ||||
残余气体分析质谱仪应用:四极质谱仪QMG非常适合于检漏,残气分析以及综合定量分析
1. 冶金 2. 真空炉 3. 加速器 4. 溅射工艺分析 5. 半导体生产 6. 玻璃镀膜 7. 研发 8. 真空工艺
上海伯东残余气体分析质谱仪客户案例一:分子束外延 MBE 气体分析

上海伯东残余气体分析质谱仪客户案例二:对 XPS 系统的分析室残余气体进行定性和半定量分析

上海伯东残余气体分析质谱仪客户案例三:分析真空钎焊过程中产生的气体成分和含量

1.设计紧凑
PrismaPlusTM是新型定量定性气体分析和检漏的质谱仪。该四极质谱仪积累了丰富的应用经验,高灵敏度,高稳定性和智慧化操作的wan美结合是 PrismaPlusTM 四极质谱仪新的优点。在适用中客户将感受到它坚固,紧凑的设计和简单的系统集成,并从中受益。
2.应用范围广阔
通过可选择质量数范围,检测器、离子源和介面介面等,该四极质谱仪可以应用于多个领域,例如:工业和分析领域、研发、检漏、半导体生产以及镀膜工艺等。PrismaPlusTM 四极质谱仪是从品质保证,残气分析直至综合的定量分析工作等应用领域的**方案。
3.检测速度快,灵敏度高
PrismaPlusTM 四极质谱仪可 以在三个不同的质量数范围(1-100,1-200,1-300 amu)内,下至检测极限1*10-14 mbar 情况下给出精确的检测结果。在真空系统中,配合有效的法拉, 第和电子倍增检测仪,即使很低程度的污染也可以被快速地识别出来。除显示可选择的分压外,直接增加一个压力量规,PrismaPlusTM 四极质谱仪就可以作为一个精确的全压监控器使用。
4.智慧化的软体
Quadera 软体不仅操作简单,它还提供了捕获和观察所有测试资料以及参数记录的易读平台。结合多种可供选择的介面介面,例如乙太网,数位式和类比式输入输出,可以方便地集成到各种系统中去。轻点滑鼠就可以启动预设的功能。
Pfeiffer 气体质谱分析仪:上海伯东真空产品事业部是德国 Pfeiffer指定销售维修中心,我司是国内代理 Pfeiffer产品的公司,100% 原装进口并提供 Pfeiffer 全系列真空产品的售后维修服务。
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润滑油
伯东公司日本原装设计制造离子蚀刻机 IBE. 提供微米级刻蚀, 均匀性: ≤±5%, 满足所有材料的刻蚀, 即使对磁性材料, 黄金 Au, 铂 Pt, 合金等金属及复合半导体材料, 这些难刻蚀的材料也能提供蚀刻. 可用于反应离子刻蚀 RIE 不能很好刻蚀的材料
伯东公司日本原装进口小型离子蚀刻机, 适用于科研院所, 实验室研究, 干式制程的微细加工装置, 特别适用于磁性材料, 金, 铂及各种合金的铣削加工.
伯东公司日本原装进口小型离子蚀刻机, 适用于科研院所, 实验室研究, 干式制程的微细加工装置, 特别适用于磁性材料, 金, 铂及各种合金的铣削加工.
上海伯东日本原装进口适合小规模量产使用和实验室研究的离子蚀刻机, 一般通氩气 Ar, 内部使用美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 40 产生轰击离子; 终点检出器采用 Pfeiffer 残余质谱监测当前气体成分, 判断刻蚀情况.
Aston™ 特性 实时过程控制的通用工具, 耐腐蚀性气体, 抗冷凝 半导体制造的分子分析原位平台, 提供实时, 可操作的数据 采用等离子体电离源, 无灯丝, 更耐用 可与大批量生产工具完全集成 Aston™ 作为一个强大的平台, 可以取代多种传统工具, 提供前所未有的控制水平, 包括光刻, 电介质和导电蚀刻及沉积, 腔室清洁, 腔室匹配和消解.
氦质谱检漏仪 ASM 340 优点 1. 前级泵配备旋片泵(油泵)Adixen Pascal 1015 I 抽速高达15 m3/h 2. 分流式分子泵 Pfeiffer Splitflow 50 对氦气抽速 2.5 l/s 3. 氦质谱检漏仪 ASM 340 对氦气的Z小检测漏率: 真空模式: 5E-13 Pa m3/s 吸枪模式: 5E-10 Pa m3/s 目前业界公认Z小漏律 4. 移动式操作面板(有线, 无线) 5. 集成 SD卡, 方便资料处理 6. 抗破大气, 抗震动, 降低由操作失误带来的风险性 7. 丰富的可选配件, 如吸枪, 遥控器, 小推车, 旁路装置, 标准漏孔等 8. 检测时间短
氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 优势: 1. 强大的抽空能力 2. 极短的测试时间, 3. 大尺寸彩色触摸屏, 无需任何工具即可完全旋转和拆卸 4. 符合人体工学设计, 移动性强 5. 通过 CE 认证, ETL 认证, UL61010 合规, 完全符合 Semi S2 标准 6. 可用于半导体相关行业和平板显示器行业以及其他要求极高的应用