等离子设备

Nano 等离子系统能够以不同的形式进行整合，例如以模块系统的形式。在下文中您可以大致了解能够与 Nano 等离子系统一同使用的最常见的选装件： Nano 等离子系统主要应用于以下领域：

• 分析

• 考古

• 汽车行业

• 研究和开发部门

• 半导体技术

• 小批量生产

• 塑料技术

• 医疗技术

• 微系统技术

• 传感器

• 灭菌

• 纺织技术

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概况介绍 NANO

基本设备

• 根据具体组件 / 选装件，外壳规格会有所不同

• 腔室容积：根据具体版本，分为 18 - 36 升

• 供电电源： 台式设备为 230 V，立式设备为 400 V/3 相位

气源

• 针型阀

• 质量流量控制器 (MFCs)

真空腔室

• 圆形不锈钢件，配有盖子
  （大约 ? 267 mm, 长 420 mm 或者长 600 mm）或者

• 矩形不锈钢件，配有铰链的门
  （约宽 240 mm x 高 240 mm x 深 420 mm 或者 600 mm）

• 配有盖子的圆形铝材，或者配有铰链的门
  （大约 ? 240 mm, 长 400 mm 或者长 600 mm）

• 配有盖子的圆形石英玻璃 (UHP)，或者配有铰链的门
  （大约 ? 240 mm, 长 400 mm 或者长 600 mm）

• 配有盖子的圆形硼硅玻璃 (UHP)，或者配有铰链的门
  （大约 ? 240 mm, 长 400 mm 或者长 600 mm）

装载件

• 产品支架（选项：水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末转鼓、散装件转鼓、铝板、不锈钢板、硼硅玻璃、石英玻璃

电极

• 单层或多层

• RIE

控制系统

• 半自动型

• PCCE 控制系统 (MicrosoftWindows CE)

• PC 控制系统 (Microsoft Windows POS Ready 2009)

压力测量

• Pirani

• Baratron（适用于腐蚀性气体版本）

计时器

• 数字型

发生器

所有发生器均为 0 - 100% 无级可调型

真空泵

• 规格和制造商均各有不同（按照活性炭过滤器的需要

其他选项

备件套件、压力计、腐蚀性气体设计结构、气瓶、减压器、加热板、温度显示器、加热型腔室、Faraday Box、等离子体聚合配件、测试墨水、 氧气发生器、慢速通风装置、慢速抽吸装置、TEM样品架法兰、维护/服务、当地语言的文件、现场安装，包括培训。可应要求提供的其他选项。