-
-
等离子清洗机 YSP600U/2KU
- 品牌:日本雅马拓
- 型号: YSP600U/2KU
- 产地:日本
- 供应商报价: 面议
- 江苏米立特科学仪器有限公司 更新时间:2021-10-21 08:23:22
-
企业性质一般经销商
入驻年限第3年
营业执照已审核
- 同类产品等离子装置(8件)
-
为您推荐
- 详细介绍
- 样品传输系统为模块式,便于组合
用途
● 提高各种材料的粘接性、表面改质处理
● 清洗各类基板。
● 电子部品、材料表面改质。
● 去除有机物和自然氧化膜。
特点
● 体积小,节省空间。
● 选用小型腔体,反应效率高。
● 更容易嵌入生产线使用。
● 可通过操作面板自由切换等离子模式。
● 配备冷却反应台。
内槽
技术规格
型号
YSP600U
YSP2KU
模式
RIE(DP模式选购)
高频输功率
600W
2000W
反应台尺寸
W300×D300mm
W600×D600mm
反应气体
2进气系统(氧气、氩气)
反应气体流量控制
质量流量控制器
气体导入口
反应气体2个、填充气体1个、空气1个