主要功能特点
1、 扫描探头和样品台集成一体,抗干扰能力强;
2、 精密激光及探针定位装置,更换探针及调节光斑简单方便;
3、 采用样品趋近探针方式,使针尖垂直于样品扫描;
4、 马达自动脉冲控制驱动样品垂直接近探针,实现扫描区域精确定位;
5、 高精度样品移动装置,可自由移动感兴趣的样品扫描区域;
6、 带光学定位的CCD观测系统,实时观测与定位探针样品扫描区域;
7、 模块化的电子控制系统设计,便于电路的持续改进与维护;
8、 集成多种扫描工作模式控制电路,配合软件系统使用;
9、 弹簧悬挂式防震方式,简单实用,抗干扰能力强。
主要技术指标
1、工作模式:接触模式、轻敲模式,可选配摩擦力、相位、磁力或静电力
2、样品尺寸:Φ≤90mm,H≤20mm
3、扫描范围:XY向20um,Z向2um
4、扫描分辨率:XY向0.2nm,Z向0.05nm
5、样品移动范围:±6.5mm
6、马达趋近脉冲宽度:10±2ms
7、图像采样点:256×256,512×512
8、光学放大倍数4X,光学分辨率2.5um
9、扫描速率0.6Hz~4.34Hz,扫描角度0~360°
10、扫描控制:XY采用18-bit D/A,Z采用16-bit D/A
11、数据采样:14-bit A/D、双16-bit A/D多路同步采样
12、反馈方式:DSP数字反馈
13、反馈采样速率:64.0KHz
14、计算机接口:USB2.0
15、运行环境:运行于Windows98/2000/XP/7/8操作系统
友好的软件界面和操作功能

1. 多通道图像同步采集显示,实时查看剖面图;
2. 多种曲线力-间距(F-Z)、频率-RMS(f-RMS)、RMS-间隙(RMS-Z)测量功能;
3. 可进行扫描区域偏移、剪切功能,任意选择感兴趣的样品区域;
4. 可任意选择样品起始扫描角度;
5. 激光光斑检测系统的实时调整功能;
6. 针尖共振峰自动和手动搜索功能;
7. 可任意定义扫描图像的色板功能;
8. 支持样品倾斜线平均、偏置实时校正功能;
9. 支持扫描器灵敏度校正和电子学控制器自动校正;
FSM-AFM操作软件主要功能特点
1、可实时观测样品扫描时的表面形貌像、振幅像和相位像;
2、具备接触、轻敲、相位、摩擦力、磁力或静电力工作模式;
3、可自由选择图像采样点为256×256或512×512;
4、多通道图像同步采集显示,实时查看剖面图;
5、多种曲线力-间距(F-Z)、频率-RMS(f-RMS)、RMS-间隙(RMS-Z)测量功能;
6、可进行扫描区域偏移、剪切功能,任意选择感兴趣的样品区域;
7、可任意选择样品起始扫描角度;
8、激光光斑检测系统的实时调整功能;
9、针尖共振峰自动和手动搜索功能;
10、可任意定义扫描图像的色板功能;
11、支持样品倾斜线平均、偏置实时校正功能;
12、支持扫描器灵敏度校正和电子学控制器自动校正;
13、支持样品图片离线分析与处理功能。
原子力显微镜广泛的应用

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Park NX-Hivac通过为失效分析工程师提供高真空环境来提高测量敏感度以及原子力显微镜测量的可重复性。与一般环境或干燥N2条件相比,高真空测量具有准确度好、可重复性好及针尖和样本损伤低等优点。
高精度探针针尖变量的亚埃米级表面粗糙度测量,晶圆的表面粗糙度对于确定半导体器件的性能是至关重要的,对于先进的元件制造商,芯片制造商和晶圆供应商都要求对晶圆商超平坦表面进行更精确的粗糙度控制。
对于工程师来说,识别介质/平面基底的纳米级缺陷的任务是一个非常耗时的过程,Park NX-HDM原子力显微镜系统可以自动缺陷识别,通过与各种光学仪器的联用可以提高缺陷检测效率。
Park Systems推出NX-3DM全自动原子力显微镜系统,专为垂悬轮廓、高分辨率侧壁成像和临界角的测量而设计。
CSI是一家法国科学设备制造商,拥有专业的AFM设计概念,以及为现有的AFM提供设计选项。它避免了激光对准需要预先定位针尖的系统,针尖/样品的顶部和侧视图,结合垂直的马达控制系统,使预先趋近更加容易。
EM-AFM可在SEM中同时提供原子力显微镜成像和纳米机械测量。它综合了这两种技术的优点,可高速获得高分辨率的三维图像,并且在微纳米和亚纳米尺度上实时观察纳米级力的相互作用,与常规SEM/FIB兼容,