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布鲁克DektakXT台阶仪
品牌:德国布鲁克
型号:DektakXT
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P-7 台阶仪
品牌:美国KLA
型号:P-7
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Alpha-Step D-500台阶仪
品牌:美国KLA
型号:Alpha-Step D-500
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Alpha-Step D-600 台阶仪
品牌:美国KLA
型号:Alpha-Step D-600
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布鲁克第十代台阶仪DektakXT
品牌:德国布鲁克
型号:DektakXT
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KLA 台阶仪 D-600
- 品牌:美国KLA
- 型号: D-600
- 产地:美国
设备特点 台阶高度:几纳米至1200μm 低触力:0.03至15mg 视频:500万像素高分辨率彩色摄像头 梯形失真校正:消除侧视光学系统引起的失真 圆弧校正:消除由于探针的弧形运动引起的误差 紧凑尺寸:小占地面积的台式探针式轮廓仪 软件:用户友好的软件界面 主要应用 台阶高度:2D台阶高度和3D台阶高度 纹理:2D粗糙度和波纹度 形式:2D翘曲和形状 应力:2D薄膜应力 应用领域 大学,研究实验室和研究所 半导体和复合半导体 SIMS:二次离子质谱 LED:发光二极管 太阳能 MEMS:微电子机械系统 汽车 医疗设备
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半导体行业布鲁克BrukerDektak150台阶仪
- 品牌:德国布鲁克
- 型号: Dektak150
- 产地:德国
半导体使用布鲁克Bruker 探针式台阶仪,外观设计独特,成色新,使用范围广泛,高精度,纳米级检测仪。
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KLA 台阶仪 P17
- 品牌:美国KLA
- 型号: P17
- 产地:美国
设备特点 台阶高度:几纳米至1000μm 微力恒力控制:0.03至50mg 样品全直径扫描,无需图像拼接 视频:500万像素高分辨率彩色摄像机 圆弧校正:消除由于探针的弧形运动引起的误差 软件:简单易用的软件界面 生产能力:通过测序、图案识别和SECS/GEM实现全自动化 主要应用 台阶高度:2D和3D台阶高度 纹理:2D和3D粗糙度和波纹度 形状:2D和3D翘曲和形状 应力:2D和3D薄膜应力 缺陷复检:2D和3D缺陷表面形貌 工业应用 半导体和化合物半导体 LED:发光二极管 太阳能 MEMS:微机电系统 数据存储 汽车 医疗设备
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KLA 台阶仪 P7
- 品牌:美国KLA
- 型号: P7
- 产地:美国
设备特点 台阶高度:几纳米至1000um 微力恒力控制:0.03mg至50mg 样品全直径扫描,无需图像拼接 视频:500万像素高分辨率彩色摄像机 圆弧矫正:消除由于探针的弧形运动引起的误差 生产能力:通过测序,模式识别和SECS/GEM实现全自动化 主要应用 薄膜/厚膜台阶 刻蚀深度测量 光阻/光刻胶台阶 柔性薄膜 表面粗糙度/波纹度表征 表面曲率和轮廓分析 薄膜的2D Stress量测 表面结构分析 表面3D轮廓成像 缺陷表征和分析 其他多种表面分析功能
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KLA 台阶仪 D-500
- 品牌:美国KLA
- 型号: D-500
- 产地:美国
台阶高度:几纳米至1200μm 低触力:0.03至15mg 视频:500万像素高分辨率彩色摄像头 梯形失真校正:消除侧视光学系统引起的失真 圆弧校正:消除由于探针的弧形运动引起的误差 紧凑尺寸:小占地面积的台式探针式轮廓仪 主要应用 台阶高度:2D台阶高度 纹理:2D粗糙度和波纹度 形式:2D翘曲和形状 应力:2D薄膜应力 应用领域 大学,研究实验室和研究所 半导体和复合半导体 SIMS:二次离子质谱 LED:发光二极管 太阳能 MEMS:微电子机械系统 汽车 医疗设备
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KLA 台阶仪 D-300
- 品牌:美国KLA
- 型号: D-300
- 产地:美国
Alpha-Step D-300 探针式轮廓仪支持台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力的2D 测量。光学杠杆传感器技术提供高分辨率测量,大垂直范围和低触力测量功能。 探针测量技术的一个优点是它是一种直接测量,与材料特性无关。可调节的触力以及探针的选择都使其可以对各种结构和材料进行测量。通过测量粗糙度和应力,可以对工艺进行量化,确定添加或去除的材料量,以及结构的任何变化。 设备特点 台阶高度:几纳米至1000μm 低触力:0.5至15mg 视频:500万像素率彩色摄像头 梯形失真校正:消除侧视光学系统引起的失真 圆弧校正:消除由于探针的弧形运动引起的误差 紧凑尺寸:小占地面积的台式探针式轮廓仪 主要应用 台阶高度:2D台阶高度 纹理:2D粗糙度和波纹度 形式:2D翘曲和形状 应力:2D薄膜应力 应用领域 半导体和复合半导体 SIMS:二次离子质谱 LED:发光二极管 太阳能 MEMS:微电子机械系统 汽车 医疗设备
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美国KLA台阶仪
- 品牌:美国KLA
- 型号: P7
- 产地:美国
KLA-Tencor先进的探针式台阶仪,可精确测量纳米级至2毫米台阶高度,并可分析薄膜表面粗糙度、波纹度、应力,集高测量精度、多功能性和经济性于一体,是生产线及材料分析等应用领域的理想选择。因其具有6.0A (1σ)或0.1%台阶高度重复性以及亚埃级的分辨率,是目前商业化仪器里(经市场验证)特别高精度的台阶仪产品。 1. D系列台阶仪:Alpha-Step D-600 Stylus Profiler KLA-Tencor A
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布鲁克台阶仪
- 品牌:德国布鲁克
- 型号: DektakXT
- 产地:德国
德国布鲁克 DektakXT 台阶仪(探针式表面轮廓仪)可以提供更高的重复性和分辨率,测量重复性可以达到5Å。
- 台阶仪
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